Патенты с меткой «тонких»

Номер патента: 18396

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Завадский Сергей Михайлович, Гурский Леонид Ильич, Каланда Николай Александрович, Голосов Дмитрий Анатольевич

МПК: C23C 14/28, C23C 14/08, H01G 7/06...

Метки: получения, способ, тонких, конденсаторных, пленок, структур

Текст:

...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...

Номер патента: 17897

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Максименко Алексей Алексеевич, Федотова Юлия Александровна, Ларькин Андрей Викторович, Федотов Александр Кириллович, Жуковский Павел Викторович, Колтунович Томаш

МПК: B82Y 30/00, C23C 14/06, C23C 14/46...

Метки: пленок, тонких, типа, получения, импедансом, индуктивного, способ

Текст:

...чередующихся пластин металлаи диэлектрика 23, распыляют методом ионно-лучевого распыления в смешанной атмосфере кислорода и аргона при давлении кислорода 4,4110-2 Па и аргона 5,1910-2 Па, с последующим отжигом при температуре 5753 С в течение 15 мин. Сущность способа состоит в том, что он является одностадийным благодаря распылению композиционной мишени методом ионно-лучевого распыления в кислород-содержащей атмосфере. Соотношение площадей...

Номер патента: 17820

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Гременок Валерий Феликсович, Башкиров Семен Александрович

МПК: C23C 14/24, H01L 31/18, C30B 29/46...

Метки: способ, получения, тонких, пленок

Текст:

...Сущность изобретения заключается в использовании для переноса паров испаряемого материала к подложке кварцевой трубки с температурой 60010 С. Способ получения пленкивключает следующие стадии получение порошкапутем сплавления олова и серы очистка стеклянной подложки напыление пленки . На первом этапе проводят получение поликристаллического порошкапутем сплавления олова и серы, взятых в стехиометрическом соотношении с точностью до 510-4 г....

Номер патента: 15299

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Пшеничный Евгений Николаевич, Лепешкевич Геннадий Вольдемарович, Солодуха Виталий Александрович, Комаров Фадей Фадеевич

МПК: C23C 16/30, H01L 21/205

Метки: осаждения, тонких, способ, пленок

Текст:

...осаждения, с другой стороны, с уменьшением температуры возрастает содержаниев пленкахпри одинаковых концентрациях моногермана в газовой фазе. При температурах ниже 560 скорость осаждения пленок нелегированного кремния при пониженном давлении становится менее 2,0 нм/мин, что позволяет увеличить длительность осаждения пленок толщиной 25 нм до 12 минут, что способствует повышению управляемости и воспроизводимости процесса осаждения по толщине и...

Номер патента: 14627

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич, Телеш Евгений Владимирович

МПК: C23C 14/08, H01F 10/10, C23C 14/46...

Метки: пленок, способ, стронция, тонких, получения, ферромолибдата

Текст:

...пленку 26- на подогреваемую монокристаллическую подложку 3 с ориентацией (001). Новым, по мнению авторов, является то, что для напыления пленок использовали двухлучевой ионный источник, формирующий два независимых ионных пучка, один из которых служит для распыления материала мишени, а второй - для предварительной ионной очистки подложки и мишени, причем напыление пленок ферромолибдата стронция осуществляют в средеионами аргона с одновременной...

Номер патента: U 7258

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Шепелевич Василий Васильевич, Васильев Руслан Юрьевич, Горбач Елена Анатольевна, Ропот Алексей Петрович, Ропот Петр Иосифович

МПК: G01B 11/06

Метки: оптических, контроля, толщины, покрытий, элементов, интерферометрического, устройство, тонких

Текст:

...крайне сложно. Влияние вибраций можно существенно снизить, выполнив ряд условий. Для этого в первую очередь следует подобрать период интерференционной картины , намного больший средней амплитуды вибраций производственных машин (А), т.е. . Далее, для устранения влияния низкочастотной составляющей при регистрации интерференционной картиныкамерой следует выбрать малое время экспозиции , так чтобы 1/, где- частота основной высокочастотной...

Номер патента: 14255

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Гременок Валерий Феликсович, Зарецкая Елена Петровна, Залесский Валерий Борисович

МПК: H01L 31/18, C30B 29/10

Метки: получения, способ, олова, сульфоселенида, пленок, тонких

Текст:

...контактом) различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) базового слоя оловаотжиг полученной структуры в парах серы и селена (селенизация/сульфиризация) при атмосферном давлении в потоке азота 2 в реакторной системе. Выбор температурного интервала обусловлен следующими факторами при температуре ниже 150 С происходит термическая диффузия халькогеновив базовый слой олова с образованием многофазной смеси из...

Номер патента: 10821

Опубликовано: 30.06.2008

Авторы: Барай Сергей Георгиевич, Гулай Анатолий Владимирович, Ильющенко Александр Федорович, Шевченок Александр Аркадьевич

МПК: B22F 3/08, H01L 21/00

Метки: способ, получения, мишени, распыляемой, пленок, тонких, осаждения

Текст:

...свежего порошка во вторичный позволяет довести параметры материала шихты практически до уровня параметров первичного материала, а также получить качество последующих технологических операций на том же уровне, что и при использовании только первичного порошка. После этого производят активирование шихты путем ее обработки в ультразвуковой ванне в дистиллированной воде или этиловом спирте с последующей сушкой в сушильном шкафу. Затем...

Номер патента: U 3550

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Купо Александр Николаевич, Рогачев Александр Владимирович, Федосенко Николай Николаевич

МПК: B23K 26/00

Метки: обработки, лазерной, листовых, материалов, тонких, устройство

Текст:

...устройстве лазерную резку осуществляют путем подачи активного газа(например, кислорода) в зону теплового воздействия лазерного излучения, что существенно увеличивает скорость резки. 2 35502007.06.30 Недостатком является невысокое качество кромки получаемых изделий. Необходимое качество изделий достигают путем их последующей обработки (например, шлифовки),что существенно увеличивает энергозатраты и время обработки. В силу изложенных причин...

Номер патента: 8787

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Лебединский Юрий Анатольевич, Романенко Алексей Андреевич, Костюченко Дмитрий Николаевич, Пехтерев Александр Владимирович, Сотский Борис Александрович, Примак Игорь Ульянович, Глазунов Евгений Валерьевич, Хомченко Александр Васильевич

МПК: G01N 21/01, G01B 11/06, G01N 21/55...

Метки: устройство, тонких, осуществления, способ, определения, оптических, параметров, пленок

Текст:

...пр. Откуда находят показатель преломления п и коэффициент поглощения 1 пленки (п п 11), при этом бп / п 0,02, б 1/1 0,0113.Недостатком известного устройства является то, что измерения связаны с проведением дополнительных измерений на различных призмах. Нахождение угла уо при определенной величине зазора между призмой и пленкой (1 также вызывает затруднения, т.к. необходимо вести сканирование по углу у и в то же время измерять...

Номер патента: 6176

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Иващенко Сергей Анатольевич, Фролов Игорь Станиславович, Плахотнюк Василий Иванович, Макаревич Евгений Владимирович

МПК: G01B 11/16

Метки: тонких, устройство, внутренних, напряжений, пленках, измерения

Текст:

...этом обеспечивается высокая точность показаний регистрирующей системы устройства и автоматизация процесса измерений. Применение в заявляемом устройстве дополнительных источника когерентного света и измерительного экрана, расположенных в вертикальной плоскости, проходящей через точку закрепления подложки, позволяет измерять напряжения в двух взаимно перпендикулярных плоскостях. Это дает возможность получать более полную картину распределения...

Номер патента: 6131

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Кузмицкий Антон Михайлович, Минько Леонид Яковлевич, Авраменко Владимир Борисович

МПК: H05H 1/00

Метки: тонких, устройство, пленок, нанесения

Текст:

...камерах. Сущность изобретения поясняется чертежом, где представлен общий вид предлагаемого устройства (фиг. 1). Устройство содержит полый цилиндрический корпус 1, электродные камеры 2, разрядную камеру 3, два электрода 4, расположенные с противоположных сторон цилиндри 2 6131 1 ческого корпуса 1, канал для прохождения разряда 5 и отверстие в боковой поверхности для прохождения плазмы 6, регулятор объема электродных камер 7. Устройство...

Номер патента: 5894

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Курдесов Федор Васильевич, Залесский Валерий Борисович, Гременок Валерий Феликсович, Ковалевский Вячеслав Иосифович

МПК: H01L 31/18

Метки: cugase2, халькопиритных, получения, способ, тонких, или, cuinse2, пленок

Текст:

...процессе,на первой стадии которого на исходную подложку различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) наносятся -, или - металлические пленки с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением, на второй стадии осуществляется отжиг металлических пленок в парах селена (селенизация),отличающийся тем, что селенизация металлических пленок осуществляется при атмосферном давлении в квазизамкнутой...

Номер патента: 5926

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Лыньков Леонид Михайлович, Болдышева Ирина Петровна, Петров Николай Петрович

МПК: H01L 39/22, H01L 39/24

Метки: сверхпроводников, пленок, тонких, способ, создания, высокотемпературных, конфигурации

Текст:

...(380-390 кг силы/см 2) водорода в течение 0,5 ч при (300-350 С), а также то, что в качестве тугоплавкого металла используетсяс примесью(0,8-0,85 вес.). Сущность данного изобретения заключается в том, что термообработка в паро-водородной среде приводит к образованию гидридов тугоплавкого металла, изменению структуры пленки и нарушению целостности слоя. Это способствует более полному удалению окисленного слоя тугоплавкого металла и дает...

Номер патента: 4682

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Полынкова Елена Владимировна, Гулай Анатолий Владимирович, Шевченок Александр Аркадьевич, Колешко Владимир Михайлович

МПК: H01J 37/32, C23C 14/34, H01J 37/34...

Метки: мишеней, тонких, осаждения, способ, распыляемых, получения, пленок

Текст:

...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...

Номер патента: 4492

Опубликовано: 30.06.2002

Авторы: Сокол Виталий Александрович, Гринис Лариса Михайловна

МПК: H01L 21/288

Метки: покрытия, алюминия, получения, паяемого, способ, пленках, тонких

Текст:

...осаждения никеля вводят фторид натрия или калия и создают слабокислую среду с рН 3,5-5 введением аминоуксусной кислоты. Аминоуксусная кислота является также комплексообразующим агентом, связывающим ионы никеля в растворимые комплексы и регулирующим скорость контактного обмена алюминия на никель. Контактное осаждение никеля проводят в водном растворе, содержащем соль никеля в количестве 20-60 г/л, натрий фтористый или калий фтористый в...

Номер патента: 3449

Опубликовано: 30.06.2000

Авторы: Морев Аркадий Борисович, Листопадов Михаил Петрович, Смычник Анатолий Дани лович, Калугин Петр Алексеевич, Мякиников Василий Егорович

МПК: E21C 41/16, E21C 41/26, E21C 47/10...

Метки: способ, блоков, тонких, горных, осуществления, пород, пластов, устройство, добычи

Текст:

...добычи блоков горных пород, обеспечивающего получение из тонких пластов горных пород готовых строительных изделий в виде блоков серповидной формы для строительства различных сооружений, например из блоков сильвинитового состава- для строительства наземных климатических галокамер (спелеолечебниц), а также обеспечивающего повышение производительности. 2 3449 1 Известно описанное выше устройство для разрушения забоя горной выработки укрепленной...

Номер патента: 1760

Опубликовано: 30.09.1997

Автор: Джанкарло Трамедзани

МПК: B29C 47/38

Метки: непрерывной, устройство, выдувания, экструзии, пластичного, тонких, пленок, материала

Текст:

...В рабочем шнеке 5 экструдера, показанном На фиг. 7,зона В соответствует зоне ввода материала, представляющего собой поливинилхлорид, в порошкообразной форме, смешанньш соулучшенную однородность исходного ма териала вдоль рабочего шнека 5 н с 5 тем, чтобы избежать перегрева и термического повреждения исходного матем риала, СЛЕДУЮЩИЕ две КОНЦЕПЦИИ ЯВЛЯЧ ются исключительно важным. 100 СУЩествляется предварительное сжатие в зоне подачи за счет...