Курдесов Федор Васильевич
Способ получения халькопиритных CuInSe2, Сu (In, Ga) Se2 или CuGaSe2 тонких пленок
Номер патента: 5894
Опубликовано: 30.03.2004
Авторы: Ковалевский Вячеслав Иосифович, Курдесов Федор Васильевич, Залесский Валерий Борисович, Гременок Валерий Феликсович
МПК: H01L 31/18
Метки: способ, cugase2, получения, тонких, пленок, или, халькопиритных, cuinse2
Текст:
...процессе,на первой стадии которого на исходную подложку различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) наносятся -, или - металлические пленки с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением, на второй стадии осуществляется отжиг металлических пленок в парах селена (селенизация),отличающийся тем, что селенизация металлических пленок осуществляется при атмосферном давлении в квазизамкнутой...