Сокол Виталий Александрович
Способ получения паяемого покрытия на тонкой пленке алюминия
Номер патента: 17506
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Сякерский Валентин Степанович, Сокол Виталий Александрович, Меледина Марина Владимировна
МПК: H01L 21/288
Метки: алюминия, паяемого, способ, пленке, покрытия, тонкой, получения
Текст:
...контактным цинкованием. Сущность заявляемого способа получения паяемого покрытия на тонкой пленке алюминия толщиной 1 мкм и более заключается в следующем. Растворы и режимы обработки,предлагаемые в данном изобретении, разработаны с учетом максимально щадящего действия на тонкую алюминиевые пленку и в то же время рассчитаны на достижение эффективного результата. Оба раствора, как относительно слабый буферный раствор плавиковой кислоты в...
Способ изготовления многоуровневой системы микроэлектронных межсоединений на основе алюминия и его анодных оксидов
Номер патента: 17099
Опубликовано: 30.04.2013
Авторы: Ярошевич Ирина Викторовна, Шиманович Дмитрий Леонидович, Сякерский Валентин Степанович, Сокол Виталий Александрович
МПК: H01L 21/64, H01L 49/02, H01L 21/84...
Метки: изготовления, способ, алюминия, микроэлектронных, многоуровневой, анодных, оксидов, межсоединений, системы, основе
Текст:
...второго уровня фиг. 11 - тонкий адгезионный слой пористого оксида 23 на открытых участках алюминия второго уровня фиг. 12 - четвертая фоторезистивная маска по рисунку контактных площадок, сформированная поверх адгезионного пористого оксида 23 на фиг. 11 сквозная межэлементная изоляция второго уровня из пористого оксида алюминия 23 3 17099 1 2013.04.30 фиг. 13 - ионное травление поверхности образца до удаления ранее дополнительно...
Многощелевой рентгеновский коллиматор
Номер патента: U 8660
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Дудчик Юрий Иванович, Сокол Виталий Александрович
МПК: G21K 1/06
Метки: многощелевой, коллиматор, рентгеновский
Текст:
...пластинка выполнена из пористого оксида алюминия, содержащего наноразмерные поры, которые проходят через пластинку насквозь перпендикулярно ее плоской поверхности, а толщина пластинки выбрана больше, чем 1/, где- показатель ослабления рентгеновских лучей в оксиде алюминия. Таким образом, для решения данной задачи предлагается заменить в прототипе пластинку с большим числом отверстий в направлении, перпендикулярном плоскости пластинки,...
Трехэлектродный активный элемент и способ его изготовления
Номер патента: 7431
Опубликовано: 30.12.2005
Авторы: Уткина Елена Апполинарьевна, Воробьева Алла Ильинична, Сокол Виталий Александрович
МПК: H01L 21/28, H01L 29/80
Метки: изготовления, способ, активный, элемент, трехэлектродный
Текст:
...управляющей сетки и матрицы изолирующего материала. Фиг. 11 показывает схему переноса электронов в отдельном канале (а) и диаграмму отбора электронов в канале по импульсу (б) при различных управляющих напряжениях на сетке. На чертежах приняты следующие обозначения 1 - подложка 2 - слой истока- 1-й уровень 3 - слой Та 4 - матрица пористого анодного оксида алюминия 23 5 - слой 25 6 - квазипроводящие каналы со множеством столбиков (25 или 25) 7 -...
Способ изготовления резистивно-коммутационной тонкопленочной интегральной микросхемы
Номер патента: 6613
Опубликовано: 30.12.2004
Авторы: Сокол Виталий Александрович, Воробьева Алла Ильинична, Уткина Елена Апполинарьевна
МПК: H01L 49/02
Метки: резистивно-коммутационной, изготовления, микросхемы, способ, тонкопленочной, интегральной
Текст:
...в слое. Затем формируют дорожки межсоединений последующих уровней металлизации повторением операций осаждения пленки А, маскирования и анодного оксидирования. Это дает возможность получения резисторов с широким диапазоном номиналов от(1050)Ом до 100 Мом и ТКС (10-4104). Так как тонкопленочные резисторы изготавливаются на планарной поверхности подложки, они имеют высокую точность номиналов из-за значительного упрощения технологического...
Способ изготовления металлических оснований из алюминия или его сплавов
Номер патента: 6371
Опубликовано: 30.09.2004
Авторы: Сокол Виталий Александрович, Воробьева Алла Ильинична, Паркун Владимир Михайлович, Игнашев Евгений Петрович
МПК: H05K 3/44, C25D 11/02
Метки: сплавов, изготовления, или, алюминия, оснований, металлических, способ
Текст:
...в широких диапазонах давлений и температур благодаря соответствию коэффициентов термического расширения оксида и твердого наполнителя. Кроме того, заполнение пор твердым диэлектриком улучшает планарность основания (гладкость поверхности) и адгезионные свойства проводящих и резистивных пленок. В качестве твердого диэлектрика могут быть использованы неорганические и органические диэлектрики. В случае использования органических диэлектриков...
Устройство для получения диэлектрических подложек методом анодирования
Номер патента: 6461
Опубликовано: 30.09.2004
Авторы: Сокол Виталий Александрович, Игнашев Евгений Петрович
МПК: C25D 11/02
Метки: устройство, методом, подложек, диэлектрических, анодирования, получения
Текст:
...Решение поставленной задачи достигается тем, что устройство для получения диэлектрических подложек методом анодирования, содержащее ванну с рубашкой для охлаждения электролита, катод, пластинодержатели и источник электрического тока, отличается тем, что содержит карусель, выполненную с валом и коромыслами, при этом на конце каждого коромысла установлен поворотный узел пластинодержателей, выполненный в виде цилиндрической пары, наружный...
Способ формирования диэлектрических пленок
Номер патента: 6426
Опубликовано: 30.09.2004
Авторы: Пинаева Маргарита Михайловна, Сокол Виталий Александрович
МПК: H01L 21/316
Метки: пленок, диэлектрических, способ, формирования
Текст:
...или соли РЗМ и кислота (органическая или неорганическая), при взаимодействии которых образуется комплексонат РЗМ, диссоциирующий в растворе с образованием комплексного аниона, содержащего РЗМ. В зависимости от анодируемого материала и требований, предъявляемых к АОП, связанных с областью их применения, электролит содержит различные РЗМ при различных концентрациях, азотосодержащее соединение основного характера, выбранное из ряда аммиак,ГМТА,...
Способ получения паяемого покрытия на тонких пленках алюминия
Номер патента: 4492
Опубликовано: 30.06.2002
Авторы: Гринис Лариса Михайловна, Сокол Виталий Александрович
МПК: H01L 21/288
Метки: алюминия, пленках, получения, способ, паяемого, тонких, покрытия
Текст:
...осаждения никеля вводят фторид натрия или калия и создают слабокислую среду с рН 3,5-5 введением аминоуксусной кислоты. Аминоуксусная кислота является также комплексообразующим агентом, связывающим ионы никеля в растворимые комплексы и регулирующим скорость контактного обмена алюминия на никель. Контактное осаждение никеля проводят в водном растворе, содержащем соль никеля в количестве 20-60 г/л, натрий фтористый или калий фтористый в...