Патенты с меткой «распыляемых»
Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок
Номер патента: 4682
Опубликовано: 30.09.2002
Авторы: Гулай Анатолий Владимирович, Колешко Владимир Михайлович, Шевченок Александр Аркадьевич, Полынкова Елена Владимировна
МПК: C23C 14/34, H01J 37/32, H01J 37/34...
Метки: мишеней, получения, тонких, распыляемых, пленок, способ, осаждения
Текст:
...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...