Пехтерев Александр Владимирович
Способ определения оптических параметров тонких пленок и устройство для его осуществления
Номер патента: 8787
Опубликовано: 30.12.2006
Авторы: Романенко Алексей Андреевич, Хомченко Александр Васильевич, Лебединский Юрий Анатольевич, Пехтерев Александр Владимирович, Глазунов Евгений Валерьевич, Примак Игорь Ульянович, Сотский Борис Александрович, Костюченко Дмитрий Николаевич
МПК: G01N 21/01, G01B 11/06, G01N 21/55...
Метки: способ, пленок, параметров, устройство, определения, осуществления, тонких, оптических
Текст:
...пр. Откуда находят показатель преломления п и коэффициент поглощения 1 пленки (п п 11), при этом бп / п 0,02, б 1/1 0,0113.Недостатком известного устройства является то, что измерения связаны с проведением дополнительных измерений на различных призмах. Нахождение угла уо при определенной величине зазора между призмой и пленкой (1 также вызывает затруднения, т.к. необходимо вести сканирование по углу у и в то же время измерять...