Фролов Игорь Станиславович

Способ вакуумно-плазменного нанесения защитно-декоративного покрытия на изделия из стекла и/или керамики

Загрузка...

Номер патента: 12760

Опубликовано: 30.12.2009

Авторы: Иващенко Сергей Анатольевич, Гречихин Леонид Иванович, Голушко Виктория Маратовна, Фролов Игорь Станиславович

МПК: C23C 14/14, C23C 14/00, C03C 17/06...

Метки: покрытия, керамики, способ, вакуумно-плазменного, нанесения, защитно-декоративного, изделия, стекла

Текст:

...стола. При количестве устанавливаемых изделий опт не обеспечивается нейтрализация положительного заряда, образующегося на поверхности конденсации диэлектрического изделия. В результате производительность процесса значительно уменьшается вследствие падения скорости осаждения покрытия. Кроме того, вследствие превалирования в этом случае процесса объемной конденсации покрытие осаждается в виде рыхлого слоя нейтральных частиц и не...

Способ получения мультислойного вакуумно-плазменного покрытия

Загрузка...

Номер патента: 11698

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Фролов Игорь Станиславович, Иващенко Сергей Анатольевич, Гречихин Леонид Иванович, Голушко Виктория Маратовна

МПК: C23C 14/00

Метки: покрытия, мультислойного, получения, вакуумно-плазменного, способ

Текст:

...напыления УРМ 3.279.048 в импульсном режиме работы испарителя производилось осаждение мультислойного покрытияна образцы из стали 12 Х 18 Н 10 Т. Режимы осаждения ток дуги 90 А, напряжение на образце 100 В,давление реакционного газа (азота) в вакуумной камере 810-2 Па. Скорость осаждения покрытия для данных режимов составляет 0,18 мкм/мин. Атомарные монослои 1 (фиг. 1) материала покрытия в каждом слое 2 наносились до температуры,...

Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках

Загрузка...

Номер патента: 6176

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Иващенко Сергей Анатольевич, Фролов Игорь Станиславович, Плахотнюк Василий Иванович, Макаревич Евгений Владимирович

МПК: G01B 11/16

Метки: тонких, пленках, внутренних, измерения, устройство, напряжений

Текст:

...этом обеспечивается высокая точность показаний регистрирующей системы устройства и автоматизация процесса измерений. Применение в заявляемом устройстве дополнительных источника когерентного света и измерительного экрана, расположенных в вертикальной плоскости, проходящей через точку закрепления подложки, позволяет измерять напряжения в двух взаимно перпендикулярных плоскостях. Это дает возможность получать более полную картину распределения...

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 6136

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Плахотнюк Василий Иванович, Фролов Игорь Станиславович, Иващенко Сергей Анатольевич, Макаревич Евгений Владимирович

МПК: C23C 14/24

Метки: нанесения, устройство, вакууме, покрытий

Текст:

...15, установленный на одном валу с ведущей шестерней 13 поворотного держателя, и ведомый диск 16 кулачка 17,обеспечивающего периодическое возвратно-поступательное перемещение вала 7 поворотного держателя с пакетом дисков 8 относительно обрабатываемых изделий 3. Силовое замыкание кулачка 17 с валом 7 создается пружиной 18. Время одного оборота вала кулачка 17 фиксируется датчиком 19. Для электрической изоляции пакета дисков 8 вал 7 поворотного...