Горбач Елена Анатольевна
Устройство для интерферометрического контроля толщины тонких покрытий оптических элементов
Номер патента: U 7258
Опубликовано: 30.04.2011
Авторы: Шепелевич Василий Васильевич, Ропот Алексей Петрович, Горбач Елена Анатольевна, Васильев Руслан Юрьевич, Ропот Петр Иосифович
МПК: G01B 11/06
Метки: покрытий, элементов, интерферометрического, тонких, оптических, устройство, контроля, толщины
Текст:
...крайне сложно. Влияние вибраций можно существенно снизить, выполнив ряд условий. Для этого в первую очередь следует подобрать период интерференционной картины , намного больший средней амплитуды вибраций производственных машин (А), т.е. . Далее, для устранения влияния низкочастотной составляющей при регистрации интерференционной картиныкамерой следует выбрать малое время экспозиции , так чтобы 1/, где- частота основной высокочастотной...