Плахотнюк Василий Иванович
Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках
Номер патента: 6176
Опубликовано: 30.06.2004
Авторы: Плахотнюк Василий Иванович, Фролов Игорь Станиславович, Иващенко Сергей Анатольевич, Макаревич Евгений Владимирович
МПК: G01B 11/16
Метки: устройство, внутренних, измерения, пленках, напряжений, тонких
Текст:
...этом обеспечивается высокая точность показаний регистрирующей системы устройства и автоматизация процесса измерений. Применение в заявляемом устройстве дополнительных источника когерентного света и измерительного экрана, расположенных в вертикальной плоскости, проходящей через точку закрепления подложки, позволяет измерять напряжения в двух взаимно перпендикулярных плоскостях. Это дает возможность получать более полную картину распределения...
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 6136
Опубликовано: 30.06.2004
Авторы: Макаревич Евгений Владимирович, Фролов Игорь Станиславович, Плахотнюк Василий Иванович, Иващенко Сергей Анатольевич
МПК: C23C 14/24
Метки: устройство, нанесения, вакууме, покрытий
Текст:
...15, установленный на одном валу с ведущей шестерней 13 поворотного держателя, и ведомый диск 16 кулачка 17,обеспечивающего периодическое возвратно-поступательное перемещение вала 7 поворотного держателя с пакетом дисков 8 относительно обрабатываемых изделий 3. Силовое замыкание кулачка 17 с валом 7 создается пружиной 18. Время одного оборота вала кулачка 17 фиксируется датчиком 19. Для электрической изоляции пакета дисков 8 вал 7 поворотного...