H01J 37/32 — газонаполненные разрядные приборы
Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок
Номер патента: 4682
Опубликовано: 30.09.2002
Авторы: Гулай Анатолий Владимирович, Колешко Владимир Михайлович, Полынкова Елена Владимировна, Шевченок Александр Аркадьевич
МПК: H01J 37/32, C23C 14/34, H01J 37/34...
Метки: осаждения, получения, тонких, мишеней, распыляемых, пленок, способ
Текст:
...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...