Гринис Лариса Михайловна
Способ получения паяемого покрытия на тонких пленках алюминия
Номер патента: 4492
Опубликовано: 30.06.2002
Авторы: Сокол Виталий Александрович, Гринис Лариса Михайловна
МПК: H01L 21/288
Метки: паяемого, тонких, получения, покрытия, пленках, способ, алюминия
Текст:
...осаждения никеля вводят фторид натрия или калия и создают слабокислую среду с рН 3,5-5 введением аминоуксусной кислоты. Аминоуксусная кислота является также комплексообразующим агентом, связывающим ионы никеля в растворимые комплексы и регулирующим скорость контактного обмена алюминия на никель. Контактное осаждение никеля проводят в водном растворе, содержащем соль никеля в количестве 20-60 г/л, натрий фтористый или калий фтористый в...