Гулай Анатолий Владимирович
Способ получения распыляемой мишени для осаждения тонких пленок
Номер патента: 10821
Опубликовано: 30.06.2008
Авторы: Гулай Анатолий Владимирович, Барай Сергей Георгиевич, Ильющенко Александр Федорович, Шевченок Александр Аркадьевич
МПК: H01L 21/00, B22F 3/08
Метки: тонких, мишени, осаждения, способ, распыляемой, пленок, получения
Текст:
...свежего порошка во вторичный позволяет довести параметры материала шихты практически до уровня параметров первичного материала, а также получить качество последующих технологических операций на том же уровне, что и при использовании только первичного порошка. После этого производят активирование шихты путем ее обработки в ультразвуковой ванне в дистиллированной воде или этиловом спирте с последующей сушкой в сушильном шкафу. Затем...
Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок
Номер патента: 4682
Опубликовано: 30.09.2002
Авторы: Шевченок Александр Аркадьевич, Колешко Владимир Михайлович, Гулай Анатолий Владимирович, Полынкова Елена Владимировна
МПК: H01J 37/32, H01J 37/34, C23C 14/34...
Метки: мишеней, тонких, распыляемых, осаждения, получения, пленок, способ
Текст:
...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...