H01G 7/06 — с диэлектриком, диэлектрическая проницаемость которого зависит от приложенного напряжения, т.е. сегнетоэлектрические конденсаторы
Способ получения тонких пленок для конденсаторных структур
Номер патента: 18396
Опубликовано: 30.08.2014
Авторы: Гурский Леонид Ильич, Завадский Сергей Михайлович, Голосов Дмитрий Анатольевич, Каланда Николай Александрович
МПК: C23C 14/08, C23C 14/28, H01G 7/06...
Метки: структур, конденсаторных, пленок, способ, получения, тонких
Текст:
...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...