Комаров Фадей Фадеевич
Устройство для контроля толщины наносимого вакуумного покрытия
Номер патента: U 8619
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Пилько Владимир Владимирович, Комаров Фадей Фадеевич
Метки: контроля, устройство, наносимого, вакуумного, покрытия, толщины
Текст:
...пластины и сопротивление переменного резистора пропорциональны толщине наносимого вакуумного покрытия. В результате применения устройства становится возможным контроль толщины вакуумных покрытий от 0,1 до 5 мкм. Сущность полезной модели поясняется фигурой. Устройство включает рабочую камеру 1 с герметичным разъемом 2, размещенные в камере источник осаждаемого материала 3, источник света 4, экран из непрозрачного материала с отверстием 5,...
Способ осаждения тонких пленок SiGe
Номер патента: 15299
Опубликовано: 30.12.2011
Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Пшеничный Евгений Николаевич, Лепешкевич Геннадий Вольдемарович, Турцевич Аркадий Степанович, Наливайко Олег Юрьевич, Солодуха Виталий Александрович
МПК: H01L 21/205, C23C 16/30
Метки: пленок, осаждения, способ, тонких
Текст:
...осаждения, с другой стороны, с уменьшением температуры возрастает содержаниев пленкахпри одинаковых концентрациях моногермана в газовой фазе. При температурах ниже 560 скорость осаждения пленок нелегированного кремния при пониженном давлении становится менее 2,0 нм/мин, что позволяет увеличить длительность осаждения пленок толщиной 25 нм до 12 минут, что способствует повышению управляемости и воспроизводимости процесса осаждения по толщине и...
Способ изготовления диода Шоттки
Номер патента: 14452
Опубликовано: 30.06.2011
Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Довнар Николай Александрович, Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Мильчанин Олег Владимирович, Глухманчук Владимир Владимирович, Кузик Сергей Владимирович
МПК: H01L 29/66, H01L 21/02
Метки: шоттки, диода, изготовления, способ
Текст:
...платины, снижает процент выхода годных диодов. Увеличение содержания никеля в барьерном слое более 86,0 мас.приводит к уменьшению содержания платины и ванадия, увеличению магнитных свойств сплава, ухудшению качества наносимых слоев и контактных свойств силицида, снижению процента выхода годных. Содержание ванадия в барьерном слое менее 4 мас.не обеспечивает создания немагнитного многокомпонентного слоя, увеличения процента выхода...
Устройство для сжатия пластин
Номер патента: U 7034
Опубликовано: 28.02.2011
Авторы: Малышев Виктор Степанович, Пилько Владимир Владимирович, Комаров Фадей Фадеевич
МПК: B32B 37/10
Метки: пластин, устройство, сжатия
Текст:
...пластин,отличающихся от идеальной плоскости на величину, равную пределу упругой деформации материала пластины, возрастает площадь соприкосновения соединяемых поверхностей, исключается наличие в зазоре между пластинами замкнутых прослоек газов и жидкостей. Сущность полезной модели поясняется чертежом. Устройство включает рабочую камеру 1 с размещенным в ней подогреваемым столом 2, герметичную крышку 3 с упругой термостойкой...
Устройство для измерения энергетических распределений ионов в пучках сильноточных ускорителей средних энергий
Номер патента: U 5640
Опубликовано: 30.10.2009
Авторы: Камышан Александр Степанович, Лагутин Андрей Евгеньевич, Комаров Фадей Фадеевич
МПК: H01J 49/00
Метки: сильноточных, энергетических, пучках, средних, ионов, ускорителей, измерения, устройство, распределений, энергий
Текст:
...ядрами мишени, который определяет регистрируемую энергию ионов, и сечение рассеяния или вероятность столкновения, определяющее чувствительность метода. Для исследуемого диапазона энергий от 100 до 500 кэВ справедливы соотношения, описывающие упругое столкновение двух твердых сфер различной массы. Отношение энергий анализирующего иона после и до столкновения 1/0, называемое кинематическим фактором рассеяния, зависит только от соотношения масс...
Устройство для соединения пластин
Номер патента: U 5197
Опубликовано: 30.04.2009
Авторы: Пилько Владимир Владимирович, Комаров Фадей Фадеевич, Мильчанин Олег Владимирович
МПК: B32B 37/00
Метки: пластин, соединения, устройство
Текст:
...и шлюза включает жидкость, а давление в рабочей камере равно атмосферному. Технический результат достигается за счет того, что жидкость служит сорбирующим пыль веществом в рабочей камере и шлюзе. Одновременно жидкость служит защитой от проникновения пыли через шлюз в камеру и смывает с поверхности пластин пылевидные и иные загрязнения. Наличие в рабочей камере атмосферного давления приводит к отсутствию перепада давлений между внутренним...
Устройство для формирования направленного пучка рентгеновского излучения
Номер патента: 3662
Опубликовано: 30.12.2000
Авторы: Кольчевский Николай Николаевич, Комаров Фадей Фадеевич, Дудчик Юрий Иванович
МПК: H01J 35/00
Метки: устройство, рентгеновского, пучка, направленного, формирования, излучения
Текст:
...в виде усеченного конуса, основание которого с большим радиусом отверстия направлено в сторону от мишени, длина капиллярного элементаи радиусы его входного 1 и выходного 2 отверстий выбраны из соотношения 2-1)/),где- критический угол полного внешнего отражения. На рисунке показана структурная схема устройства для получения направленного пучка рентгеновского излучения и траектории рентгеновских лучей, распространяющихся в канале...