H01L 21/288 — из жидкости, например способом электролитического осаждения

Номер патента: 17506

Опубликовано: 30.08.2013

Авторы: Сокол Виталий Александрович, Меледина Марина Владимировна, Сякерский Валентин Степанович

МПК: H01L 21/288

Метки: тонкой, покрытия, пленке, получения, способ, алюминия, паяемого

Текст:

...контактным цинкованием. Сущность заявляемого способа получения паяемого покрытия на тонкой пленке алюминия толщиной 1 мкм и более заключается в следующем. Растворы и режимы обработки,предлагаемые в данном изобретении, разработаны с учетом максимально щадящего действия на тонкую алюминиевые пленку и в то же время рассчитаны на достижение эффективного результата. Оба раствора, как относительно слабый буферный раствор плавиковой кислоты в...

Номер патента: 4492

Опубликовано: 30.06.2002

Авторы: Сокол Виталий Александрович, Гринис Лариса Михайловна

МПК: H01L 21/288

Метки: тонких, способ, паяемого, алюминия, получения, пленках, покрытия

Текст:

...осаждения никеля вводят фторид натрия или калия и создают слабокислую среду с рН 3,5-5 введением аминоуксусной кислоты. Аминоуксусная кислота является также комплексообразующим агентом, связывающим ионы никеля в растворимые комплексы и регулирующим скорость контактного обмена алюминия на никель. Контактное осаждение никеля проводят в водном растворе, содержащем соль никеля в количестве 20-60 г/л, натрий фтористый или калий фтористый в...