C23C 16/30 — осаждение соединений, смесей или твердых растворов, например боридов, карбидов, нитридов

Номер патента: 18138

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Пшеничный Евгений Николаевич, Трусов Виктор Леонидович, Солодуха Виталий Александрович

МПК: H01L 21/205, C23C 16/56, C23C 16/30...

Метки: фосфором, способ, пленок, осаждения, легированных, кремния

Текст:

...сопротивления. И, наконец, формирование аморфного подслоя кремния способствует снижению общей шероховатости осаждаемой пленки. При температуре осаждения ниже 540 С существенно снижается скорость осаждения,что снижает производительность процесса. При температуре выше 560 С осаждается аморфно-кристаллический подслой кремния, что приводит к повышению шероховатости поверхности осажденных пленок, а также к сегрегации фосфора на границах...

Номер патента: 15299

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Комаров Фадей Фадеевич, Наливайко Олег Юрьевич, Солодуха Виталий Александрович, Лепешкевич Геннадий Вольдемарович, Пшеничный Евгений Николаевич

МПК: C23C 16/30, H01L 21/205

Метки: способ, тонких, осаждения, пленок

Текст:

...осаждения, с другой стороны, с уменьшением температуры возрастает содержаниев пленкахпри одинаковых концентрациях моногермана в газовой фазе. При температурах ниже 560 скорость осаждения пленок нелегированного кремния при пониженном давлении становится менее 2,0 нм/мин, что позволяет увеличить длительность осаждения пленок толщиной 25 нм до 12 минут, что способствует повышению управляемости и воспроизводимости процесса осаждения по толщине и...