H01J 37/34 — работающие с катодным распылением
Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок
Номер патента: 4682
Опубликовано: 30.09.2002
Авторы: Колешко Владимир Михайлович, Гулай Анатолий Владимирович, Полынкова Елена Владимировна, Шевченок Александр Аркадьевич
МПК: H01J 37/34, H01J 37/32, C23C 14/34...
Метки: распыляемых, получения, пленок, мишеней, осаждения, способ, тонких
Текст:
...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...