C23C 14/08 — оксиды

Номер патента: 18396

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Голосов Дмитрий Анатольевич, Гурский Леонид Ильич, Каланда Николай Александрович, Завадский Сергей Михайлович

МПК: C23C 14/28, C23C 14/08, H01G 7/06...

Метки: получения, способ, тонких, структур, пленок, конденсаторных

Текст:

...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...

Номер патента: 18017

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: РАММ, Юрген, ВОЛЬРАБ, Кристиан, АНТЕ, Майкл, ВИДРИГ, Бено

МПК: C23C 14/08, C23C 14/32

Метки: многокомпонентного, мере, слоистая, смешанных, оксида, слоем, меньшей, одним, система, кристаллов

Текст:

...Для как можно более простого и воспроизводимого способа выгодно выбирать технологические параметры так, чтобы состав металлов слоя смешанных кристаллов после нормирования на полное содержание металлов в отношении соответствующих долей металла отличался от содержания металлов в мишени не более чем на 10, предпочтительно не более, чем на 5, в частности, не более, чем на 3 . Это удается достичь, например, удержанием указанных в экспериментальных...

Номер патента: 17308

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Завадский Сергей Михайлович, Каланда Николай Александрович, Голосов Дмитрий Анатольевич, Гурский Леонид Ильич

МПК: C04B 35/491, H01L 41/24, C23C 14/08...

Метки: способ, мишени, свинца, получения, цирконата-титаната

Текст:

...условиях контроля над содержанием свинца и кислорода в структуре 0,540,463, в воспроизводимости физико-химических свойств мишени, в использовании мелкодисперсных прекурсоров для избежания кинетических трудностей при фазообразовании, увеличения плотности и равномерного распределения пористости по объему мишени и управления, а также в упрощении технологического оборудования и уменьшения экономических затрат. Пример выполнения способа получения...

Номер патента: 16272

Опубликовано: 30.08.2012

Авторы: ОСАДА, Кодзо, ОЦУКА, Хироаки

МПК: C23C 14/08, C04B 35/453, C04B 35/01...

Метки: способ, оксидов, прессованная, спеченных, получения, распыления, мишень

Текст:

...и гибкой полимерной пленки, возникает проблема, заключающаяся в том, что диапазон вариантов материала для подложки является ограниченным. Кроме того, имеются недостатки с точки зрения производительности, поскольку процесс изготовления устройств при высоких температурах требует больших затрат на энергию и много времени на процесс нагревания.В свете вышесказанного, в последнее время производится разработка тонкопленочного транзистора с...

Номер патента: 14627

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Телеш Евгений Владимирович, Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич

МПК: C23C 14/46, C23C 14/08, H01F 10/10...

Метки: тонких, получения, стронция, пленок, ферромолибдата, способ

Текст:

...пленку 26- на подогреваемую монокристаллическую подложку 3 с ориентацией (001). Новым, по мнению авторов, является то, что для напыления пленок использовали двухлучевой ионный источник, формирующий два независимых ионных пучка, один из которых служит для распыления материала мишени, а второй - для предварительной ионной очистки подложки и мишени, причем напыление пленок ферромолибдата стронция осуществляют в средеионами аргона с одновременной...

Номер патента: 3654

Опубликовано: 30.12.2000

Авторы: Казаченко Виктор Павлович, Рогачев Александр Владимирович

МПК: C23C 14/08, C23C 14/12

Метки: покрытия, способ, полимерного, композиционного, нанесения

Текст:

...состава, морфологического состояния. При этом энергетические затраты незначительны и для его реализации не требуется применение сложного оборудования. Указанный диапазон энергии электронов Е 1,02,5 кэВ, использующийся при зарядке, является оптимальным. При Е 1,0 кэВ зарядка частиц малоэффективна,т.к. в области малых энергий электронов коэффициент вторичной электронной эмиссии 1. При таких значениях энергии нельзя получить поток наночастиц...

Номер патента: 960

Опубликовано: 15.12.1995

Авторы: Танасейчук Алексей Станиславович, Федосенко Николай Николаевич, Шершнев Евгений Борисович

МПК: C23C 14/28, C23C 14/08

Метки: получения, покрытия, электропроводящего, способ, индия, оксида, прозрачного

Текст:

...и значительно снижают величину удельного сопротивления.При оптимальных технологических режимах напыления величина светопропускания превышает 93.Ионизация кислорода и азота необходима при осуществлении предлагаемого способа. Она позволяет использовать привзаимодействии атомарный кислород и азот, что химически более оправдано, чем использование молекулярных компонентов газовой смеси. Плазма разряда эффективно стимулирует...