H01L 39/24 — способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки предусмотренных в

Номер патента: 5926

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Петров Николай Петрович, Лыньков Леонид Михайлович, Болдышева Ирина Петровна

МПК: H01L 39/22, H01L 39/24

Метки: сверхпроводников, тонких, пленок, создания, высокотемпературных, способ, конфигурации

Текст:

...(380-390 кг силы/см 2) водорода в течение 0,5 ч при (300-350 С), а также то, что в качестве тугоплавкого металла используетсяс примесью(0,8-0,85 вес.). Сущность данного изобретения заключается в том, что термообработка в паро-водородной среде приводит к образованию гидридов тугоплавкого металла, изменению структуры пленки и нарушению целостности слоя. Это способствует более полному удалению окисленного слоя тугоплавкого металла и дает...

Номер патента: 2309

Опубликовано: 30.09.1998

Авторы: Матюнина Ольга Владимировна, Погребняков Алексей Владимирович, Достанко Анатолий Павлович

МПК: H01L 39/22, H01L 39/24

Метки: сверхпроводников, высокотемпературных, микромостиков, формирования, пленочных, способ

Текст:

...о наличии большого числа межзеренных переходов в микромостике. 2 2309 1 Одним из основных недостатков описанного способа является низкая воспроизводимость характеристик пленочных микромостиков, так как слабая связь создается на границе раздела двух зерен, образование которых представляет собой случайный процесс, поэтому и значения параметров пленочных микромостиков тоже являются случайными величинами. Задачей предлагаемого способа является...