Болдышева Ирина Петровна

Номер патента: 7220

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Белятко Дмитрий Петрович, Болдышева Ирина Петровна, Прудник Александр Михайлович, Лыньков Леонид Михайлович

МПК: H01L 21/033

Метки: литографии, способ, обратной

Текст:

...алюминия, формирование контактной маски путем селективного травления пленки алюминия,нанесение пленки рабочего материала и удаление контактной маски 2. Недостатком данного способа является ограниченный диапазон применяемых рабочих материалов. Задачей настоящего изобретения является получение технического результата, который выражается в понижении температуры взрыва (удаления) контактной маски, что позволит расширить диапазон используемых...

Номер патента: 6943

Опубликовано: 30.03.2005

Авторы: Болдышева Ирина Петровна, Прудник Александр Михайлович, Лыньков Леонид Михайлович

МПК: H01L 21/76

Метки: изоляции, интегральных, микросхем, межкомпонентной, изготовления, способ

Текст:

...степень интеграции компонентов ИМС.Так, с разрешающей способностью литографии 3,6 мкм по цирконию, после операции гидрирования металла, толщиной 1 мкм зазор получается равным 1 мкм, что дает вь 1 игрь 1 ш 3 мкм на каждой разделительной канавке.Способ позволяет повысить степень интеграции компонентов интегральных схем, а также существенно снизить температуру обработки металла.На фиг. 1 (а-е) изображены отдельные этапы технологического процесса...

Номер патента: 5926

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Болдышева Ирина Петровна, Лыньков Леонид Михайлович, Петров Николай Петрович

МПК: H01L 39/24, H01L 39/22

Метки: тонких, способ, пленок, сверхпроводников, создания, конфигурации, высокотемпературных

Текст:

...(380-390 кг силы/см 2) водорода в течение 0,5 ч при (300-350 С), а также то, что в качестве тугоплавкого металла используетсяс примесью(0,8-0,85 вес.). Сущность данного изобретения заключается в том, что термообработка в паро-водородной среде приводит к образованию гидридов тугоплавкого металла, изменению структуры пленки и нарушению целостности слоя. Это способствует более полному удалению окисленного слоя тугоплавкого металла и дает...