Патенты с меткой «конденсаторных»
Способ получения тонких пленок для конденсаторных структур
Номер патента: 18396
Опубликовано: 30.08.2014
Авторы: Голосов Дмитрий Анатольевич, Каланда Николай Александрович, Завадский Сергей Михайлович, Гурский Леонид Ильич
МПК: H01G 7/06, C23C 14/08, C23C 14/28...
Метки: пленок, получения, структур, способ, конденсаторных, тонких
Текст:
...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...