C23C 14/46 — с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника

Номер патента: 18354

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Лисовская Юлия Олеговна, Ильющенко Александр Федорович, Маркова Людмила Владимировна, Андреев Михаил Анатольевич

МПК: C23C 14/06, C23C 14/46

Метки: коррозионностойкого, многослойного, наноструктурированного, износо, способ, формирования, покрытия

Текст:

...структурного упрочнения лежит эффект создания поверхностей раздела межкристаллитных и межфазных, являющихся наиболее эффективными барьерами для дислокаций. Многослойность покрытия также препятствует образованию сквозной пористости, что обеспечивает высокую коррозионную стойкость покрытий Это достигается тем, что в способе формирования на детали наноструктурированного износо- и коррозионностойкого покрытия путем ионно-лучевого распыления...

Номер патента: 17897

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Федотова Юлия Александровна, Колтунович Томаш, Максименко Алексей Алексеевич, Жуковский Павел Викторович, Федотов Александр Кириллович, Ларькин Андрей Викторович

МПК: C23C 14/06, C23C 14/46, B82Y 30/00...

Метки: типа, индуктивного, способ, тонких, пленок, импедансом, получения

Текст:

...чередующихся пластин металлаи диэлектрика 23, распыляют методом ионно-лучевого распыления в смешанной атмосфере кислорода и аргона при давлении кислорода 4,4110-2 Па и аргона 5,1910-2 Па, с последующим отжигом при температуре 5753 С в течение 15 мин. Сущность способа состоит в том, что он является одностадийным благодаря распылению композиционной мишени методом ионно-лучевого распыления в кислород-содержащей атмосфере. Соотношение площадей...

Номер патента: 17310

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Лисовская Юлия Олеговна, Андреев Михаил Анатольевич, Суворов Анатолий Николаевич, Ильющенко Александр Федорович, Маркова Людмила Владимировна

МПК: C23C 14/46, C23C 14/06

Метки: способ, покрытия, триботехническими, многослойного, формирования, наноструктурированного, свойствами

Текст:

...поочередного, не менее 40 раз, распыления мишени из спрессованного порошка хрома и мишени из спрессованного порошка хрома с добавкой 50 ма.дисульфида молибдена. В предпочтительном варианте реализации изобретения во время распыления осуществляют ионное ассистирование. Наличие слоя хрома с добавками дисульфида молибдена в многослойной композиции позволяет получить твердосмазочное покрытие, в котором твердосмазочный материал (в данном случае...

Номер патента: 16781

Опубликовано: 28.02.2013

Авторы: Новицкий Николай Николаевич, Стогний Александр Иванович, Шарко Сергей Александрович, Будько Тамара Олеговна

МПК: C23C 14/46, G02B 1/10

Метки: обработки, основе, способ, элемента, оптического, кальция, фторида, поверхности

Текст:

...дефекты размером 200-300 нм являются ловушками и линзами для излучения, что заметно ухудшает оптические характеристики приборов, создаваемых на основе фторида кальция. Органические примеси скапливаются в трещинах,образующихся по границам монокристаллических блоков при механохимическом полировании (трещиноватый слой), а также в областях ростовых дефектов. Химические методы обработки не в состоянии удалить эти примеси. При наклонном падении...

Номер патента: 16316

Опубликовано: 30.08.2012

Авторы: Новицкий Николай Николаевич, Будько Тамара Олеговна, Стогний Александр Иванович, Шарко Сергей Александрович

МПК: C23C 14/46, C01B 31/06, C23C 14/18...

Метки: металлического, нанесения, алмаза, способ, порошки, покрытия

Текст:

...заключается в том, что обработка алмаза в СВЧ плазме атомарного водорода приводит к удалению адсорбированного кислорода с поверхности алмаза и одновременном ее активации для нанесения слоя металлизации. Нанесенный наноразмерный слой титана не имеет внутренних напряжений, препятствует взаимодействию кислорода и непосредственному контакту кобальта с поверхностью алмаза. Это создает благоприятные условия для последующего нанесения на...

Номер патента: 15870

Опубликовано: 30.06.2012

Авторы: Маркова Людмила Владимировна, Андреев Михаил Анатольевич

МПК: C23C 14/06, C23C 14/46

Метки: покрытия, способ, износостойкого, формирования

Текст:

...распыления композиционной мишени в вакууме распыляют мишень, изготовленную из спрессованного порошка тугоплавкого металла и 1-5 мас.наноразмерного порошка оксида циркония 2 с размером частиц 50-150 нм. Добавление НРП 2 в мишень для распыления увеличивает количество центров зародышеобразования при формировании покрытия и таким образом ускоряет его рост. В то время как зародыши кристаллизации в покрытии без добавления наноразмерного...

Номер патента: 14627

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Каланда Николай Александрович, Телеш Евгений Владимирович, Гурский Леонид Ильич

МПК: H01F 10/10, C23C 14/46, C23C 14/08...

Метки: способ, получения, стронция, пленок, тонких, ферромолибдата

Текст:

...пленку 26- на подогреваемую монокристаллическую подложку 3 с ориентацией (001). Новым, по мнению авторов, является то, что для напыления пленок использовали двухлучевой ионный источник, формирующий два независимых ионных пучка, один из которых служит для распыления материала мишени, а второй - для предварительной ионной очистки подложки и мишени, причем напыление пленок ферромолибдата стронция осуществляют в средеионами аргона с одновременной...

Номер патента: 11988

Опубликовано: 30.06.2009

Авторы: Маркова Людмила Владимировна, Андреев Михаил Анатольевич, Ильющенко Александр Федорович

МПК: C23C 14/06, C23C 14/46

Метки: формирования, способ, покрытия, износостойкого

Текст:

...порошка оксида алюминия коалесцируют и их концентрация в процессе осаждения пленки уменьшается, присутствие наноразмерных частиц оксида алюминия в мишени для распыления увеличивает количество зародышей в течение всего процесса кристаллизации и ведет к увеличению числа отдельных кристаллов в покрытии. При этом формируется более мелкое зерно. Наноразмерные частицы оксида алюминия располагаются по границам зерен,служащим местом концентраций...

Номер патента: 10419

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Корженевский Александр Павлович, Ильющенко Александр Федорович, Андреев Михаил Анатольевич, Маркова Людмила Владимировна

МПК: C23C 14/06, C23C 14/46

Метки: способ, покрытий, формирования, износостойких, коррозионностойких

Текст:

...покрытия, путем ионнолучевого распыления мишени в вакууме, распыляют мишень, изготовленную из спрессованного порошка тугоплавкого металла и 5-10 мас.ультрадисперсного алмазного порошка с размером частиц 1-5 нм. Добавление УДА в мишень для распыления увеличивает количество центров зародышеобразования при формировании покрытия и таким образом ускоряет его рост. В то время как зародыши кристаллизации в покрытии без УДА коалесцируют и их...

Номер патента: 2324

Опубликовано: 30.09.1998

Авторы: Ташлыков Игорь Серафимович, Белый Илья Михайлович

МПК: C23C 4/12, C23C 4/18, C23C 14/46...

Метки: покрытий, способ, нанесения

Текст:

...фракция требуемого материала испаряется в разных направлениях, напыляясь в том числе на изделие 4. Под действием разности потенциалов между отрицательным высоковольтным электродом 5, на котором размещено изделие 4, и источником ионов 1 генерируемые ионы вытягиваются из разрядного промежутка и в соответствии с направлением напряженности электростатического поля Е(4) устремляются к изделию, внедряясь в поверхность изделия одновременно с...