Патенты с меткой «импедансом»
Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа
Номер патента: 17897
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: Колтунович Томаш, Федотов Александр Кириллович, Жуковский Павел Викторович, Максименко Алексей Алексеевич, Ларькин Андрей Викторович, Федотова Юлия Александровна
МПК: C23C 14/46, B82Y 30/00, C23C 14/06...
Метки: пленок, типа, тонких, индуктивного, способ, получения, импедансом
Текст:
...чередующихся пластин металлаи диэлектрика 23, распыляют методом ионно-лучевого распыления в смешанной атмосфере кислорода и аргона при давлении кислорода 4,4110-2 Па и аргона 5,1910-2 Па, с последующим отжигом при температуре 5753 С в течение 15 мин. Сущность способа состоит в том, что он является одностадийным благодаря распылению композиционной мишени методом ионно-лучевого распыления в кислород-содержащей атмосфере. Соотношение площадей...