Петров Николай Петрович

Номер патента: 5926

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Болдышева Ирина Петровна, Петров Николай Петрович, Лыньков Леонид Михайлович

МПК: H01L 39/22, H01L 39/24

Метки: сверхпроводников, тонких, высокотемпературных, пленок, создания, конфигурации, способ

Текст:

...(380-390 кг силы/см 2) водорода в течение 0,5 ч при (300-350 С), а также то, что в качестве тугоплавкого металла используетсяс примесью(0,8-0,85 вес.). Сущность данного изобретения заключается в том, что термообработка в паро-водородной среде приводит к образованию гидридов тугоплавкого металла, изменению структуры пленки и нарушению целостности слоя. Это способствует более полному удалению окисленного слоя тугоплавкого металла и дает...

Номер патента: 2428

Опубликовано: 30.09.1998

Авторы: Петров Николай Петрович, Прудник Александр Михайлович, Богуш Вадим Анатольевич, Жданович Сергей Вячеславович, Лыньков Леонид Михайлович

МПК: H01L 21/312

Метки: обратной, способ, литографии

Текст:

...вакуумной камере установки УВН-2 М-3 электронно-лучевым методом наносили пленку алюминия толщиной 1 мкм. На технологической линии Лада на пленку алюминия наносили слой резиста. С помощью стандартных методов вскрывали окна в слое алюминия. Затем методом газофазного окисления в смеси аргона, моносилана и кислорода при температуре 370 С осаждали рабочую пленку 2 толщиной 1,5 мкм. Затем на установке Изоприн структуру подвергали импульсной...