Патенты с меткой «cugase2»
Способ получения халькопиритных CuInSe2, Сu (In, Ga) Se2 или CuGaSe2 тонких пленок
Номер патента: 5894
Опубликовано: 30.03.2004
Авторы: Гременок Валерий Феликсович, Курдесов Федор Васильевич, Ковалевский Вячеслав Иосифович, Залесский Валерий Борисович
МПК: H01L 31/18
Метки: cugase2, тонких, или, cuinse2, получения, халькопиритных, пленок, способ
Текст:
...процессе,на первой стадии которого на исходную подложку различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) наносятся -, или - металлические пленки с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением, на второй стадии осуществляется отжиг металлических пленок в парах селена (селенизация),отличающийся тем, что селенизация металлических пленок осуществляется при атмосферном давлении в квазизамкнутой...