C23C 14/48 — ионное внедрение

Номер патента: 17960

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович, Чернов Анатолий Сергеевич

МПК: C23C 14/48, C23C 8/00, C23C 14/36...

Метки: вакууме, тлеющем, обработки, изделий, способ, разряде, поверхности

Текст:

...14 посредством приводного механизма 15,например винт-гайка от привода 13. На противоположной стороне внизу вакуумной камеры 3 расположен катод 5 на диэлектрической прокладке 6 с возможностью перемещения с помощью устройства 17 перемещения катода 5 по направляющим 18 посредством приводного механизма 19, например винт-гайка от привода 20. На катоде 5 выкладываются изделия 9, на которых необходимо произвести обработку поверхности....

Номер патента: 17923

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Терешко Ирина Васильевна, Редько Всеволод Петрович, Логвина Екатерина Владимировна, Чернов Анатолий Сергеевич

МПК: C23C 8/00, C23C 14/38, C23C 14/48...

Метки: устройство, осуществления, способ, тлеющем, изделий, разряде, поверхности, обработки, вакууме

Текст:

...агрегат, вакуумную камеру с катодом и анодом, подключенными к источнику напряжения,согласно изобретению, содержит маски из диэлектрических материалов, установленные над изделиями и выполненные с возможностью отвода излучения от поверхностей, не требующих обработки, и концентрации на поверхностях, требующих более интенсивной обработки. Над изделиями установлены фокусаторы из диэлектрических материалов, выполненные с возможностью увеличения...

Номер патента: 17632

Опубликовано: 30.10.2013

Авторы: Суворов Анатолий Николаевич, Макаревич Евгений Петрович, Андреев Михаил Анатольевич

МПК: C23C 14/48

Метки: вакууме, ионной, устройство, бомбардировкой, вещества, нанесения, конденсацией, покрытия

Текст:

...слоя на начальной стадии процесса нанесения покрытий в значительной мере определяет свойства и структуру покрытий в целом. Задачей изобретения является улучшение качества получаемых покрытий. Поставленная задача решается за счет того, что в устройстве для нанесения покрытия конденсацией вещества в вакууме с ионной бомбардировкой, содержащем являющуюся анодной вакуумную камеру, в которой расположены электродуговой испаритель,...

Номер патента: 16907

Опубликовано: 28.02.2013

Авторы: Асташинский Валентин Миронович, Черенда Николай Николаевич, Шиманский Виталий Игоревич, Углов Владимир Васильевич, Подсобей Григорий Захарович

МПК: C23C 14/48, C23C 8/24

Метки: сплава, способ, поверхности, изделия, титанового, упрочнения

Текст:

...импульсов 10-15, после которых достигается насыщение поверхностного слоя азотом, и их дальнейшее увеличение не приводит к повышению концентрации азота. После азотирования легированного слоя изделие подвергают восстановительному отжигу в вакууме с целью частичного распада сформировавшегося при жидкофазном легировании твердого раствора на основе высокотемпературной фазы титана. Время восстановительного отжига выбирают из интервала 60-75 минут....

Номер патента: 16881

Опубликовано: 28.02.2013

Авторы: Мрочек Жорж Адамович, Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/36, C23C 8/00, C23C 14/48...

Метки: подготовки, способ, лигатуры

Текст:

...анодом и катодом, увеличивается. Подвергая лигатуру воздействию пульсирующего тока в процессе обработки, можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки лигатуры с повышением адгезии их поверхностных слоев, тем самым создать условия для проведения структурных изменений в приповерхностных слоях 16881 1 2013.02.28 лигатуры частицами с меньшей потенциальной энергией, повысить производительность,снизить...

Номер патента: 16595

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/48, C23C 14/36, C23C 8/00...

Метки: способ, вакууме, изделия, обработки

Текст:

...камеру 3 и располагают на катоде 5, установленном на диэлектрической прокладке 6 таким образом, чтобы поверхность, которую необходимо обрабатывать, была обращена к аноду 1. Закрывают вакуумную камеру 3. Включают откачной пост 10 для откачки воздуха из вакуумной камеры 3. После создания достаточного разрежения в вакуумной камере 3 включают агрегат форвакуумный 11 для создания разрежения 1,3-13,3 Па, создают между катодом 5 и анодом 1,...

Номер патента: 16593

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/48, C23C 8/00, C23C 14/36...

Метки: обработки, вакууме, изделия, способ

Текст:

...потенциала энергия ионов, исходящих из анода и находящихся в пространстве между анодом и катодом, увеличивается. Подвергая изделия в процессе обработки воздействию импульсов тока, подаваемых с частотой, близкой к собственной резонансной частоте атомов кристаллической решетки материала изделий, можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки материала для повышения параметров качества поверхностного слоя...

Номер патента: 16592

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Жолобов Александр Алексеевич, Логвин Владимир Александрович, Котиков Петр Филиппович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/36, C23C 8/00, C23C 14/48...

Метки: или, изделий, механически, неё, обработки, легированной, шихты, способ

Текст:

...импульсного тока в процессе обработки можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки материала для активации с повышением адгезии поверхностных слоев и повышения износостойкости изделия, тем самым создать условия для проведения структурных изменений в приповерхностных сло 2 16592 1 2012.12.30 ях шихты и материала изделия ионами с меньшей потенциальной энергией, повысить производительность, снизить...

Номер патента: 16343

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/48, C23C 14/35, C23C 14/38...

Метки: вакууме, обработки, осуществления, устройство, способ, изделия, поверхностной

Текст:

...согласно изобретению, содержит источник высокочастотного пульсирующего тока, подключенный к изделию и содержащий регулятор частоты и регулятор тока и протяженный магнетрон, расположенный в вакуумной камере, с мишенью, выполненной с возможностью перемещения, смены, установки комбинированной мишени. Известно, что при высокочастотном изменении подаваемого постоянного тока происходит возрастание энергетического уровня материала. Кроме того, в...

Номер патента: 16341

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/36, C23C 8/00, C23C 14/48...

Метки: изделия, осуществления, обработки, вакууме, устройство, способ

Текст:

...в пространстве между анодом и катодом, увеличивается. Подвергая изделие воздействию импульсного тока, в процессе обработки можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки материала для повышения износостойкости изделия, тем самым создать условия для проведения структурных изменений в приповерхностных слоях материала изделия ионами с меньшей кинетической энергией, повысить производительность, снизить...

Номер патента: 16337

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/48, C23C 8/00, C23C 14/38...

Метки: обработки, осуществления, устройство, способ, изделия, вакууме

Текст:

...источник высокочастотного импульсного тока,подключенный к двум расположенным в вакуумной камере электродам и содержащий регулятор частоты и регулятор тока и систему напуска технологических газов с устройством контроля объема напуска газа. Один электрод выполнен из титана, а второй - из вольфрама. Один электрод выполнен из циркония, а второй - из вольфрама. Один электрод выполнен из тантала, а второй - из вольфрама. Один электрод выполнен...

Номер патента: 16340

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна, Жолобов Александр Алексеевич

МПК: C23C 14/48, C23C 8/00, C23C 14/36...

Метки: упрочнения, способ, изделий

Текст:

...8 может быть дополнительно укомплектован регулятором 13 частоты или постоянной составляющей в виде источника постоянного тока 14. Откачной пост 10 и агрегат форвакуумный 11 служат для откачки воздуха из вакуумной камеры 3. Пример. Обработку по предлагаемому способу осуществляют следующим образом. Изделия 9 помещают в вакуумную камеру 3 и располагают на катоде 5, установленном на диэлектрической прокладке 6 таким образом, чтобы...

Номер патента: 13825

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Вершина Алексей Константинович, Агеев Виталий Александрович

МПК: C23C 14/48, C23C 14/32

Метки: макрочастиц, дугового, устройство, очистки, незаряженных, испарителя, плазмы

Текст:

...наиболее сильно проявляется для плазмы легких металлов и связано с отклонением ионов в сторону увеличения напряженности магнитного поля в процессе дрейфа последних в осевом направлении криволинейного участка плазмовода. Технической задачей предлагаемого изобретения является повышение равномерности толщины покрытий, формируемых вакуумным электродуговым методом с устройством для очистки плазмы вакуумной дуги от макрочастиц. Поставленная...

Номер патента: 13134

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Латушкина Светлана Дмитриевна, Вершина Алексей Константинович

МПК: C23C 14/48

Метки: коррозионностойкого, нанесения, покрытия, многослойного, способ

Текст:

...например тепловых электронагревателей либо теплоизлучающих ламп. В процессе ионной бомбардировки обрабатываемая поверхность изделия подвергается не только ионной очистке, но и интенсивному разогреву. В дальнейшем при переходе к этапу конденсации покрытия наблюдается уменьшение температуры в системе изделиепокрытие, что обусловлено, с одной стороны, снижением энергии частиц, взаимодействующих с поверхностью конденсации, а с другой -...

Номер патента: 12942

Опубликовано: 28.02.2010

Авторы: Агеев Виталий Александрович, Пискунова Ольга Юрьевна, Вершина Алексей Константинович

МПК: C23C 8/24, C23C 14/48

Метки: упрочнения, стали, способ, лезвийного, инструмента, быстрорежущей, комбинированного

Текст:

...значительного количества нитридных фаз, препятствующих диффузии азота от поверхности в объем материала. Увеличение характеристик твердости и хрупкости поверхностного слоя обрабатываемого инструмента приводит к снижению адгезионной прочности формируемого впоследствии методом КИБ покрытия. С другой стороны, уменьшение содержания азота в газовой смеси требует пропорционального увеличения содержания инертного газа, ибо процесс азотирования...

Номер патента: U 5478

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович

МПК: H01J 3/00, C23C 14/48

Метки: покрытий, нанесения, устройство, вакууме

Текст:

...камере. Магнитное поле в системе создается катушками, размещенными снаружи плазмовода. На криволинейный участок плазмовода подается положительный потенциал порядка 5-20 В. Электрическое поле совместно с магнитным создает плазмооптическую систему, в которой поворот ионного потока осуществляется при напряженности магнитного поля более чем в три раза меньшей, чем требуется для поворота только тороидальным магнитным полем 8, 9. Таким образом,...

Номер патента: 11777

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Белый Алексей Владимирович, Копылов Владимир Ильич, Кукареко Владимир Аркадьевич, Эйсмонт Олег Леонидович, Кононов Александр Геннадьевич, Шаркеев Юрий Петрович

МПК: B21J 5/00, A61L 27/00, C23C 14/48...

Метки: циркония, имплантанта, способ, биосовместимого, обработки, материала, используемого, или, медицинского, титана

Текст:

...оптимальным значениям степени деформации соответствуют режимы 2,1 и 2,5, которые обеспечивают увеличение прочностных характеристик на 50-60 по сравнению с недеформированным состоянием. Для повышения износостойкости и снижения коэффициента трения целесообразно проводить ионно-лучевое азотирование, к основным параметрам которого относятся энергия ионов, ток ионного пучка, флюенс легирования, продолжительность обработки и температура...

Номер патента: 11506

Опубликовано: 28.02.2009

Авторы: Белый Алексей Владимирович, Ших Сергей Константинович, Кукареко Владимир Аркадьевич, Таран Игорь Иванович

МПК: C23C 14/48

Метки: слоя, свойствами, формирования, аустенитной, стали, ферромагнитными, способ, хромосодержащей, поверхности

Текст:

...составляло 10-15 мин. Затем осуществляли прогрев образцов резистивным нагревателем до температуры 400-600 С и облучали образец потоком ионов азота, который формируется тем же ионным источником при ускоряющем напряжении 2,5-3,0 кВ с плотностью ионного тока 1,5-2,5 мА/см 2. Время обработки составляло 2 ч, при этом поглощенная доза составляла 31019 ионов/см 2. Затем выключают блок питания, подающий ускоряющее напряжение на ионный источник,...

Номер патента: U 4435

Опубликовано: 30.06.2008

Авторы: Белый Алексей Владимирович, Ших Сергей Константинович, Биленко Эдуард Григорьевич

МПК: H05H 1/00, C23C 14/48

Метки: слоем, протяженный, ускоритель, анодным

Текст:

...ионно-лучевой обработки и расширение технологических возможностей за счет возможности обработки двух поверхностей листовых деталей за одну установку. Поставленная задача решается за счет того, что в протяженном ускорителе с анодным слоем, включающем корпус с постоянными магнитами, катод и анод, ускоряющие щели ускорителя расположены оппозитно друг к другу и направлены во внутрь ускорителя. Сущность предложенной полезной модели поясняется...

Номер патента: 8740

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Лях Анатолий Александрович, Ших Сергей Константинович, Кукареко Владимир Аркадьевич, Таран Игорь Иванович, Белый Алексей Владимирович

МПК: C23C 14/48

Метки: ионно-лучевой, металлических, обработки, изделий, способ

Текст:

...0 малая толщина азотированного слоя 0Задачей изобретения является расширение технологических возможностей обработки за счет повышения твердости обрабатываемой поверхности. исключения разупрочнения материала основы.Задача предлагаемого изобретения решается следующим образом. В способе ионнолучевой обработки металлических изделий. включающем воздействие в условиях вакуума на поверхность заземленного изделия сильноточного низкоэнергетического...

Номер патента: U 2285

Опубликовано: 30.12.2005

Авторы: Шалупаев Сергей Викентьевич, Шершнев Евгений Борисович, Морозов Владимир Петрович

МПК: C23C 14/48

Метки: деталей, установка, ионно-лучевой, обработки

Текст:

...слоем, обладающим повышенной микротвердостью, износостойкостью, коррозионной стойкостью, жаростойкостью, а также улучшенными фрикционными свойствами. Технический результат, достигаемый при осуществлении заявляемой полезной модели увеличение числа деталей, обрабатываемых в едином технологическом цикле без разгерметизации вакуумной камеры уменьшение эксплуатационных расходов при обработке деталей эффективное использование рабочего объема...

Номер патента: U 1071

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Лях Анатолий Александрович, Лях Александр Анатольевич, Белый Алексей Владимирович, Ших Сергей Константинович

МПК: C23C 14/48

Метки: устройство, низкоэнергетической, ионно-лучевой, сильноточной, обработки

Текст:

...характеристик обрабатываемой детали, достигнутых предшествующими технологическими операциями. Наиболее близким является устройство для ионной имплантации погружением в плазму, в котором к обрабатываемой детали прикладываются импульсы высокого напряжения 2. Недостатком этого устройства является необходимость для получения достаточной для использования в качестве промышленного источника производительности разогрев детали до...

Номер патента: U 443

Опубликовано: 30.03.2002

Авторы: Лях Анатолий Александрович, Ших Сергей Константинович, Белый Алексей Владимирович

МПК: C23C 14/48

Метки: низкоэнергетического, устройство, ионного, сильноточного, азотирования

Текст:

...сильное распыление стенок полого катода, приводящее к неконтролируемому загрязнению ионного потока. Задачей полезной модели является повышение производительности и снижение степени загрязненности поверхности обрабатываемых деталей. Задача решается следующим образом. В устройстве для сильноточного низкоэнергетического ионного азотирования, состоящего из камеры - анода, внутри которого расположен полый катод с экраном и подложка для...