Патенты с меткой «низкоэнергетической»

Номер патента: U 1071

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Ших Сергей Константинович, Белый Алексей Владимирович, Лях Анатолий Александрович, Лях Александр Анатольевич

МПК: C23C 14/48

Метки: обработки, ионно-лучевой, сильноточной, низкоэнергетической, устройство

Текст:

...характеристик обрабатываемой детали, достигнутых предшествующими технологическими операциями. Наиболее близким является устройство для ионной имплантации погружением в плазму, в котором к обрабатываемой детали прикладываются импульсы высокого напряжения 2. Недостатком этого устройства является необходимость для получения достаточной для использования в качестве промышленного источника производительности разогрев детали до...