Протяженный ускоритель с анодным слоем

(51) МПК (2006) НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ(71) Заявитель Государственное научное учреждение Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси(72) Авторы Биленко Эдуард Григорьевич Ших Сергей Константинович Белый Алексей Владимирович(73) Патентообладатель Государственное научное учреждение Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси(57) Протяженный ускоритель с анодным слоем, включающий корпус с постоянными магнитами, катод, анод, ускоряющие щели, отличающийся тем, что ускоряющие щели расположены оппозитно друг к другу и направлены во внутрь ускорителя.(56) 1. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. - М. Атомиздат,1972. - С. 54-60. 2. Плазменные ускорители / Под ред. акад. Л.А. Арцимовича. - М. Машиностроение,1972. - С. 54-60. Полезная модель относится к технике формирования ионных пучков, а именно к источникам ионов на основе ускорителя с анодным слоем (УАС), которые могут быть использованы для ионно-лучевой обработки листовых деталей - архитектурного стекла,защитных экранов, фильтрующих линз. 44352008.06.30 Известен ионный ускоритель, состоящий из цилиндрического корпуса, который формирует периферийный и центральный полюсные наконечники, с расположенным в нем кольцеобразного анода и прикрытого внутренним и внешним катодами 1. Однако, известный ионный ускоритель формирует ионный пучок в виде кольца, который имеет малую площадь обработки, в связи с чем необходимо сканировать деталь перед ускорителем. Наиболее близким является ионный ускоритель с анодом в форме эллипса, при этом источник имеет протяженную длину, что позволяет обрабатывать детали большой площади 2. Недостатком данного устройства являются ограниченные технологические возможности, которые не позволяют обрабатывать листовые детали с двух сторон за одну установку, тем самым увеличивая общее время обработки листовой детали. Задачей настоящей полезной модели является уменьшение времени ионно-лучевой обработки и расширение технологических возможностей за счет возможности обработки двух поверхностей листовых деталей за одну установку. Поставленная задача решается за счет того, что в протяженном ускорителе с анодным слоем, включающем корпус с постоянными магнитами, катод и анод, ускоряющие щели ускорителя расположены оппозитно друг к другу и направлены во внутрь ускорителя. Сущность предложенной полезной модели поясняется фигурой, на которой представлен поперечный разрез предлагаемого ионного источника. В вакуумной камере 1 установлен протяженный ускоритель 2 перед магнетронами (на чертеже не показано). Ускоритель ионов состоит из корпуса 3 с расположенными на внешней его стороне постоянными магнитами 4, к которому прикреплен катод 5, имеющий в сечении П-образную форму. Корпус 3 и катод 5 образуют камеру 6, в которой установлен анод 7. В катоде 5 имеются ускоряющие щели 8, расположенные оппозитно друг к другу. Исходная листовая деталь 9 закреплена на подвижных опорах 10 таким образом,что ускоряющие щели 8 находятся по разные стороны от обрабатываемых поверхностей листовой детали 9. Протяженный ускоритель с анодным слоем работает следующим образом. Вакуумная камера откачивается до рабочего давления 10-2 Па, после чего при подаче напряжения между катодом 5 и анодом 7 зажигается разряд в скрещенных ЕН полях. В камеру 6 подается рабочий газ, который ионизуется и вылетает в виде ионного пучка из ускоряющей щели 8. Листовая деталь 9 совершает поступательное перемещение на подвижных опорах 10 со скоростью порядка 5 см/мин между щелями 8, расположенными оппозитно друг к другу и направленными во внутрь ускорителя 2. Ускоренные ионы подают перпендикулярно на обе обрабатываемые поверхности листовой детали и очищают ее. Процесс очистки поверхности листовой детали повторяется. В лаборатории высокоэнергетических методов обработки ГНУ ФТИ НАН Беларуси производилась обработка листового стекла с размерами 5001400 мм, толщиной 5 мм с целью нанесения теплоотражающих покрытий из серебра и оксида титана. Результаты обработки показали, что при использовании предложенного устройства время обработки сократилось в 2 раза без потери качества. Предложенная полезная модель найдет широкое применение при производстве архитектурного стекла, защитных экранов, фильтрующих линз. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.