Патенты с меткой «незаряженных»

Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от незаряженных макрочастиц

Загрузка...

Номер патента: 13825

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Вершина Алексей Константинович, Агеев Виталий Александрович

МПК: C23C 14/32, C23C 14/48

Метки: незаряженных, очистки, макрочастиц, устройство, дугового, плазмы, испарителя

Текст:

...наиболее сильно проявляется для плазмы легких металлов и связано с отклонением ионов в сторону увеличения напряженности магнитного поля в процессе дрейфа последних в осевом направлении криволинейного участка плазмовода. Технической задачей предлагаемого изобретения является повышение равномерности толщины покрытий, формируемых вакуумным электродуговым методом с устройством для очистки плазмы вакуумной дуги от макрочастиц. Поставленная...