Чернов Анатолий Сергеевич
Способ обработки поверхности изделий в вакууме в тлеющем разряде
Номер патента: 17960
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: Чернов Анатолий Сергеевич, Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович
МПК: C23C 14/36, C23C 14/48, C23C 8/00...
Метки: обработки, изделий, способ, поверхности, вакууме, тлеющем, разряде
Текст:
...14 посредством приводного механизма 15,например винт-гайка от привода 13. На противоположной стороне внизу вакуумной камеры 3 расположен катод 5 на диэлектрической прокладке 6 с возможностью перемещения с помощью устройства 17 перемещения катода 5 по направляющим 18 посредством приводного механизма 19, например винт-гайка от привода 20. На катоде 5 выкладываются изделия 9, на которых необходимо произвести обработку поверхности....
Способ обработки поверхности изделий в вакууме в тлеющем разряде и устройство для его осуществления
Номер патента: 17923
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Чернов Анатолий Сергеевич, Логвин Владимир Александрович, Терешко Ирина Васильевна, Редько Всеволод Петрович
МПК: C23C 8/00, C23C 14/38, C23C 14/48...
Метки: осуществления, обработки, поверхности, изделий, способ, вакууме, устройство, разряде, тлеющем
Текст:
...агрегат, вакуумную камеру с катодом и анодом, подключенными к источнику напряжения,согласно изобретению, содержит маски из диэлектрических материалов, установленные над изделиями и выполненные с возможностью отвода излучения от поверхностей, не требующих обработки, и концентрации на поверхностях, требующих более интенсивной обработки. Над изделиями установлены фокусаторы из диэлектрических материалов, выполненные с возможностью увеличения...