Патенты с меткой «низкоэнергетического»

Номер патента: U 443

Опубликовано: 30.03.2002

Авторы: Ших Сергей Константинович, Лях Анатолий Александрович, Белый Алексей Владимирович

МПК: C23C 14/48

Метки: сильноточного, устройство, ионного, низкоэнергетического, азотирования

Текст:

...сильное распыление стенок полого катода, приводящее к неконтролируемому загрязнению ионного потока. Задачей полезной модели является повышение производительности и снижение степени загрязненности поверхности обрабатываемых деталей. Задача решается следующим образом. В устройстве для сильноточного низкоэнергетического ионного азотирования, состоящего из камеры - анода, внутри которого расположен полый катод с экраном и подложка для...