Патенты с меткой «макрочастиц»
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от незаряженных макрочастиц
Номер патента: 13825
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Вершина Алексей Константинович, Агеев Виталий Александрович
МПК: C23C 14/32, C23C 14/48
Метки: устройство, незаряженных, дугового, макрочастиц, плазмы, очистки, испарителя
Текст:
...наиболее сильно проявляется для плазмы легких металлов и связано с отклонением ионов в сторону увеличения напряженности магнитного поля в процессе дрейфа последних в осевом направлении криволинейного участка плазмовода. Технической задачей предлагаемого изобретения является повышение равномерности толщины покрытий, формируемых вакуумным электродуговым методом с устройством для очистки плазмы вакуумной дуги от макрочастиц. Поставленная...