Морозов Владимир Петрович

Установка для ионно-лучевой обработки деталей

Загрузка...

Номер патента: U 2285

Опубликовано: 30.12.2005

Авторы: Морозов Владимир Петрович, Шершнев Евгений Борисович, Шалупаев Сергей Викентьевич

МПК: C23C 14/48

Метки: ионно-лучевой, обработки, установка, деталей

Текст:

...слоем, обладающим повышенной микротвердостью, износостойкостью, коррозионной стойкостью, жаростойкостью, а также улучшенными фрикционными свойствами. Технический результат, достигаемый при осуществлении заявляемой полезной модели увеличение числа деталей, обрабатываемых в едином технологическом цикле без разгерметизации вакуумной камеры уменьшение эксплуатационных расходов при обработке деталей эффективное использование рабочего объема...

Установка для получения алмазоподобных пленок

Загрузка...

Номер патента: U 2326

Опубликовано: 30.12.2005

Авторы: Морозов Владимир Петрович, Шершнев Алексей Евгеньевич, Шалупаев Сергей Викентьевич

МПК: C23C 14/28

Метки: установка, получения, пленок, алмазоподобных

Текст:

...Достижение указанного технического результата обеспечивается тем, что в установке для нанесения алмазоподобных пленок, содержащей лазер, формирующий объектив, ва 2 23262005.12.30 куумную камеру и расположенные внутри нее ионно-лучевой источник, держатель мишени и держатель подложки, на которую осаждается испаряемый материал мишени, ионнолучевой источник и держатель мишени последовательно установлены на оптической оси установки по...

Установка для получения алмазоподобных пленок

Загрузка...

Номер патента: U 1980

Опубликовано: 30.06.2005

Авторы: Морозов Владимир Петрович, Шалупаев Сергей Викентьевич, Шершнев Алексей Евгеньевич, Никитюк Юрий Валерьевич

МПК: C23C 14/28

Метки: алмазоподобных, получения, пленок, установка

Текст:

...временное распределение интенсивности в пичках импульсов, что способствует повышению однородности состава плазмы эрозионного факела и приводит к значительному уменьшению попадания крупных осколков материала мишени на подложку. Выполнение формирующего объектива в виде оптической системы для формирования лазерного пучка в пучок кольцевого сечения приводит к существенному увеличению как телесного угла разлета продуктов испарения, так и вь 1...

Установка для получения алмазоподобных пленок

Загрузка...

Номер патента: U 323

Опубликовано: 30.09.2001

Авторы: Федосенко Николай Николаевич, Морозов Владимир Петрович, Шалупаев Сергей Викентьевич, Старовойтов Александр Семенович, Зайцев Валентин Алексеевич, Шершнев Евгений Борисович, Никитюк Юрий Валерьевич

МПК: C23C 14/28

Метки: алмазоподобных, установка, получения, пленок

Текст:

...эффекта являются повышение качества получаемых покрытий и надежности работы установки, рост ее производительности за счет сокращения времени простоя и наладки. Достижение указанного технического результата обеспечивается тем, что установка для нанесения алмазоподобных пленок, содержащая рабочий лазер, формирующий объектив, вакуумную камеру и расположенные внутри нее держатели с мишенью и подложкой, на которую осаждается испаряемый материал...