Патенты с меткой «сильноточной»

Номер патента: U 1071

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Лях Александр Анатольевич, Белый Алексей Владимирович, Ших Сергей Константинович, Лях Анатолий Александрович

МПК: C23C 14/48

Метки: ионно-лучевой, низкоэнергетической, обработки, устройство, сильноточной

Текст:

...характеристик обрабатываемой детали, достигнутых предшествующими технологическими операциями. Наиболее близким является устройство для ионной имплантации погружением в плазму, в котором к обрабатываемой детали прикладываются импульсы высокого напряжения 2. Недостатком этого устройства является необходимость для получения достаточной для использования в качестве промышленного источника производительности разогрев детали до...