Патенты с меткой «дугового»
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от незаряженных макрочастиц
Номер патента: 13825
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович
МПК: C23C 14/48, C23C 14/32
Метки: очистки, плазмы, испарителя, незаряженных, устройство, дугового, макрочастиц
Текст:
...наиболее сильно проявляется для плазмы легких металлов и связано с отклонением ионов в сторону увеличения напряженности магнитного поля в процессе дрейфа последних в осевом направлении криволинейного участка плазмовода. Технической задачей предлагаемого изобретения является повышение равномерности толщины покрытий, формируемых вакуумным электродуговым методом с устройством для очистки плазмы вакуумной дуги от макрочастиц. Поставленная...
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц
Номер патента: 9539
Опубликовано: 30.08.2007
Авторы: Латушкина Светлана Дмитриевна, Агеев Виталий Алексеевич, Плескачевский Игорь Юрьевич, Вершина Алексей Константинович
МПК: C23C 14/32
Метки: плазмы, микрочастиц, дугового, испарителя, очистки, устройство
Текст:
...повышение степени очистки плазменного потока от микрочастиц при сохранении высокой степени прозрачности для ионной компоненты.Поставленная задача решается за счет того, что в устройстве для очистки плазмы дугового испарителя от макрочастиц, содержащем жалюзную систему электродов, вь 1 полненных в виде набора коаксиальных электродов конической формы, перекрываюших апертуру испарителя, электрически соединенных между собой последовательно...