H01L 29/66 — типы полупроводниковых приборов

Номер патента: 18057

Опубликовано: 30.04.2014

Автор: Марченко Игорь Георгиевич

МПК: H01L 21/02, H01L 29/66

Метки: основе, способ, изготовления, кремния, быстродействующих, тиристоров

Текст:

...структуры при этом защищают экраном,непроницаемым для электронов. Новым, по мнению автора, является то, что подвергают локальному облучению электронами область структуры под катодным электродом через отверстия в экране диаметром от 0,7 до 1,1 мм, которые равномерно распределены по площади экрана и расположены друг от друга на расстоянии от 0,8 до 1,2 мм, причем область поверхностной фаски тиристорной структуры при этом защищена...

Номер патента: 14452

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Солодуха Виталий Александрович, Комаров Фадей Фадеевич, Глухманчук Владимир Владимирович, Довнар Николай Александрович, Кузик Сергей Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Мильчанин Олег Владимирович

МПК: H01L 21/02, H01L 29/66

Метки: способ, шоттки, изготовления, диода

Текст:

...платины, снижает процент выхода годных диодов. Увеличение содержания никеля в барьерном слое более 86,0 мас.приводит к уменьшению содержания платины и ванадия, увеличению магнитных свойств сплава, ухудшению качества наносимых слоев и контактных свойств силицида, снижению процента выхода годных. Содержание ванадия в барьерном слое менее 4 мас.не обеспечивает создания немагнитного многокомпонентного слоя, увеличения процента выхода...

Номер патента: 13177

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Кузик Сергей Владимирович, Солодуха Виталий Александрович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: H01L 21/02, H01L 29/66

Метки: изготовления, шоттки, диода, способ

Текст:

...источника будет менее 950 С, а время менее 30 мин, то на поверхности не будет сформирован слой достаточно большой степени легирования бором, а значит, это приведет к низкой поверхностной концентрации бора в охранном кольце, приводящей к снижению обратного напряжения и ухудшению устойчивости диода Шоттки к воздействию статического электричества. Понижение температуры до первоначального уровня в окислительной среде проводят для...

Номер патента: 13060

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Шамягин Виктор Павлович, Токарев Владимир Васильевич, Солодуха Виталий Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович

МПК: H01L 21/02, H01L 29/66

Метки: способ, шоттки, изготовления, диода

Текст:

...Если отжиг проводить более 180 минут при температуре более 1040 С, то глубина залегания перехода охранного кольца будет слишком большой, а поверхностная концентрация бора в охранном кольце пониженной,что приведет к снижению величины обратного напряжения и ухудшению устойчивости диода Шоттки к воздействию статического электричества. Если отжиг проводить в окислительной среде, то поверхностная концентрация бора в охранном кольце будет...

Номер патента: 12994

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Гурин Павел Михайлович, Коршунов Федор Павлович, Жданович Николай Евгеньевич, Марченко Игорь Георгиевич

МПК: H01L 21/02, H01L 29/66

Метки: кремния, основе, быстродействующих, изготовления, способ, тиристоров

Текст:

...пробега электронов в материале экрана, и с расположением отверстий, соответствующим расположению отверстий шаблона для нанесения на кремниевую пластину контактов к управляющему электроду, подвергают воздействию тормозного гаммаизлучения весь объем структуры. Сущность способа состоит в следующем. В случае формирования в четырехслойной приборной структуре зоны повышенной рекомбинации (ЗПР) цилиндрической формы 5,когда ЗПР совпадает с...

Номер патента: 12019

Опубликовано: 30.06.2009

Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Матюшевский Анатолий Петрович, Турцевич Аркадий Степанович, Голубев Николай Федорович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: H01L 29/66, H01L 21/02

Метки: высоковольтный, транзистор, биполярный

Текст:

...до 0,2 мкм позволяет улучшить защитные свойства пассивирующего покрытия и компенсировать механические напряжения, возникающие на границе нитрид кремния - слой легкоплавкого стекла из-за разности их термических коэффициентов линейного расширения. В совокупности это обеспечивает дополнительное повышение выхода годных ВБТ. При толщине слоя нитрида кремния менее 0,05 мкм улучшение защитных свойств не достигается и компенсации механических...

Номер патента: 12057

Опубликовано: 30.06.2009

Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Емельянов Виктор Андреевич, Глухманчук Владимир Владимирович

МПК: H01L 21/02, H01L 29/66

Метки: диода, способ, изготовления, шоттки

Текст:

...эпитаксиального слоя примесями из подложки на стадии его нанесения, а также при выполнении последующих высокотемпературных операций формирования активной структуры диода Шоттки. Если толщина защитного эпитаксиального слоя менее 3,0 мкм, то эффективной защиты от загрязнения автолегированием примесями из подложки не будет вследствие их сквозной диффузии через защитный эпитаксиальный слой. Это, в свою очередь, приведет к разбросу...

Номер патента: 11738

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Зиневич Сергей Болеславович, Гордеев Николай Александрович

МПК: H03K 17/78, H01L 29/66, G01J 1/42...

Метки: фотоприемное, устройство, импульсное

Текст:

...транзистора соединен с токозадающим резистором и конденсатором, а исток полевого транзистора соединен с истоковым резистором, второй вывод которого и затвор полевого транзистора соединены с катодом ЛФД. При этом параметры нормально открытого полевого транзистора и истокового резистора выбраны так, что при заданном максимально допустимом значении фототока падение напряжения на истоковом резисторе равно напряжению отсечки полевого транзистора,...

Номер патента: 10443

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Ануфриев Дмитрий Леонидович, Кузик Сергей Владимирович, Голубев Николай Федорович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 29/66, H01L 21/02

Метки: изготовления, способ, шоттки, диода

Текст:

...платины. При меньших значениях температуры термообработки и времени ее проведения не происходит полного перехода платины в силицид, что приводит к росту обратных токов, ухудшению качества и снижению выхода годных. При температуре термообработки более 575 С и времени термообработки более 60 мин наблюдаются рост обратных токов и снижение выхода годных диодов Шоттки, связанные с диффузией кислорода в слой силицида, диффузией никеля к границе...

Номер патента: 10510

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Ануфриев Дмитрий Леонидович, Турцевич Аркадий Степанович, Жигалко Игорь Борисович, Алиев Алигаджи Магомедович, Карпов Иван Николаевич

МПК: H01L 21/02, H01L 29/66

Метки: высоковольтного, изготовления, транзистора, мощного, способ, дмоп

Текст:

...ДМОП-транзистора по способу-прототипу, а фиг. 10-18 - по предлагаемому способу. На фиг. 1 изображено поперечное сечение после формированияэпитаксиальной структуры 1, окисного слоя 2, создания фотолитографией рисунка охранных областей-типа проводимости 3. На фиг. 2 - структура после ионного легирования бором, удаления фоторезистивной маски и разгонки внедренной примеси, где 4 - -охранная область. На фиг. 3 - структура после...

Номер патента: 10252

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович, Карпов Иван Николаевич, Ануфриев Дмитрий Леонидович, Глухманчук Владимир Владимирович

МПК: H01L 29/66, H01L 29/00

Метки: диод, шоттки

Текст:

...счет уменьшения механических напряжений в первом барьерном слое, величина которых может превышать 1 ГПа. Никель также блокирует диффузию кислорода в силицид платины и обеспечивает формирование платиносодержащего первого барьерного слоя диода Шоттки с однородными свойствами, что, в свою очередь, приводит к снижению обратных токов, улучшению качества диодов Шоттки и повышению выхода годных. Кроме того, никель снижает высоту барьера барьерного...