Гурин Павел Михайлович
Способ изготовления кремниевых быстродействующих приборов
Номер патента: 15639
Опубликовано: 30.04.2012
Авторы: Гурин Павел Михайлович, Коршунов Федор Павлович, Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/263
Метки: приборов, изготовления, кремниевых, способ, быстродействующих
Текст:
...сильно облученных кремниевых -переходах процессы рекомбинации, генерации и захвата носителей заряда идут через различные радиационные дефекты - центры (РД). Это обстоятельство делает возможным независимое влияние на такие характеристики эпитаксиальных приборов, как генерационный ток, прямое падение напряжения и время жизни неравновесных носителей заряда (ННЗ). При оптимальных, для конкретных приборных структур, режимах облучения и...
Способ регулирования времени жизни неосновных носителей заряда в полупроводниковых приборах на эпитаксиальном кремнии
Номер патента: 13719
Опубликовано: 30.10.2010
Авторы: Жданович Николай Евгеньевич, Гурин Павел Михайлович, Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/02
Метки: приборах, полупроводниковых, времени, заряда, носителей, способ, регулирования, кремнии, жизни, неосновных, эпитаксиальном
Текст:
...С для увеличения времени жизни и потом до флюенса 11016 см-2 при температурах от -150 до 150 С для снижения времени жизни, а интенсивность пучка электронов подбирают такой, чтобы время облучения не превышало 600 и 3000 с соответственно. Способ основан на радиационно-стимулированных процессах, протекающих в облученных эпитаксиальных структурах и приводящих к улучшению характеристик приборов на основе таких структур. Так, эффект малых доз,...
Способ изготовления быстродействующих тиристоров на основе кремния
Номер патента: 12994
Опубликовано: 30.04.2010
Авторы: Гурин Павел Михайлович, Марченко Игорь Георгиевич, Коршунов Федор Павлович, Жданович Николай Евгеньевич
МПК: H01L 21/02, H01L 29/66
Метки: кремния, тиристоров, изготовления, способ, быстродействующих, основе
Текст:
...пробега электронов в материале экрана, и с расположением отверстий, соответствующим расположению отверстий шаблона для нанесения на кремниевую пластину контактов к управляющему электроду, подвергают воздействию тормозного гаммаизлучения весь объем структуры. Сущность способа состоит в следующем. В случае формирования в четырехслойной приборной структуре зоны повышенной рекомбинации (ЗПР) цилиндрической формы 5,когда ЗПР совпадает с...