Патенты с меткой «дмоп»
Способ изготовления мощного высоковольтного ДМОП – транзистора
Номер патента: 10510
Опубликовано: 30.04.2008
Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Карпов Иван Николаевич, Жигалко Игорь Борисович, Ануфриев Дмитрий Леонидович, Алиев Алигаджи Магомедович
МПК: H01L 29/66, H01L 21/02
Метки: мощного, транзистора, дмоп, способ, высоковольтного, изготовления
Текст:
...ДМОП-транзистора по способу-прототипу, а фиг. 10-18 - по предлагаемому способу. На фиг. 1 изображено поперечное сечение после формированияэпитаксиальной структуры 1, окисного слоя 2, создания фотолитографией рисунка охранных областей-типа проводимости 3. На фиг. 2 - структура после ионного легирования бором, удаления фоторезистивной маски и разгонки внедренной примеси, где 4 - -охранная область. На фиг. 3 - структура после...