Токарев Владимир Васильевич
Способ изготовления диода Шоттки
Номер патента: 13060
Опубликовано: 30.04.2010
Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Глухманчук Владимир Владимирович, Солодуха Виталий Александрович, Соловьев Ярослав Александрович, Шамягин Виктор Павлович, Токарев Владимир Васильевич
МПК: H01L 21/02, H01L 29/66
Метки: изготовления, диода, шоттки, способ
Текст:
...Если отжиг проводить более 180 минут при температуре более 1040 С, то глубина залегания перехода охранного кольца будет слишком большой, а поверхностная концентрация бора в охранном кольце пониженной,что приведет к снижению величины обратного напряжения и ухудшению устойчивости диода Шоттки к воздействию статического электричества. Если отжиг проводить в окислительной среде, то поверхностная концентрация бора в охранном кольце будет...