Патенты с меткой «подложки»

Номер патента: 18351

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Андреев Михаил Анатольевич, Саевич Леонтий Михайлович, Суворов Анатолий Николаевич

МПК: C23C 14/00, C23C 14/50

Метки: конденсацией, устройство, подложки, нанесения, вещества, покрытий, плоские, вакууме

Текст:

...планшет для обрабатываемой подложки, удерживаемый горизонтально благодаря контакту с наклонной направляющей, а также соединенный с указанными передачами и управляемый микропроцессором системы управления шаговый двигатель, выполненный с возможностью последовательного вывода всех планшетов, общим числом более двух, из указанного зацепления посредством управляемого натяжения указанных цепей для поочередного перевода планшетов вместе с...

Номер патента: U 9424

Опубликовано: 30.08.2013

Авторы: Андреев Михаил Анатольевич, Саевич Леонтий Михайлович, Суворов Анатолий Николаевич

МПК: C23C 14/00

Метки: формирования, вещества, подложки, покрытий, плоские, вакууме, устройство, конденсацией

Текст:

...количеством планшетов и выбранным кодом Кодовое управление заключается в том, что соосно со звездочкой ведущей цепной передачи и шаговым двигателем крепится кодовый диск, представляющий собой диск из тонколистового материала с прорезанными в нем сегментными отверстиями в соответствии с количеством планшетов и выбранным кодом (в данном случае код Грэя). Вращение оси с диском осуществляется шаговым двигателем при подаче на него импульсов с...

Номер патента: 16535

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Худолей Андрей Леонидович, Чижик Сергей Антонович

МПК: G01Q 20/00, G01Q 10/00

Метки: подложки, сканирующем, образца, покрытием, способ, виде, сканирования, зондовом, микроскопе

Текст:

...сканером, измеряют расстояние зонд-образец для различных точек поверхности образца, а формирование изображения поверхности производят путем определения и вычитания постоянного наклона и постоянной составляющей, корректировки и фильтрации данных,полученных с помощью сканирующего зондового микроскопа. Существенным недостатком известного способа является отсутствие возможности формирования достоверного изображения поверхности образца,...

Номер патента: U 8621

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Саевич Леонтий Михайлович, Суворов Анатолий Николаевич, Андреев Михаил Анатольевич

МПК: C23C 14/00

Метки: подложки, вакууме, покрытий, вещества, устройство, конденсацией, плоские, нанесения

Текст:

...и более планшетами с плоскими подложками. На рисунке представлена схема предлагаемого устройства. Устройство содержит корпус-вакуумную камеру 1, электрод токопроводящий из испаряемого металла 2, вращающийся стол 3. На столе 3 установлен корпус 4 оснастки. Корпус 4 расположен по отношению к электроду токопроводящему из испаряемого металла 2 таким образом, что ось электрода токопроводящего из испаряемого металла 2 перпендикулярна плоскости...

Номер патента: 14296

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Витязь Петр Александрович, Жорник Виктор Иванович, Петлицкая Татьяна Владимировна, Пилипенко Владимир Александрович, Ковалева Светлана Анатольевна

МПК: C25D 11/02, B82B 3/00

Метки: способ, пленки, подложки, окисной, поверхности, создания, металлической, либо, полупроводниковой

Текст:

...например монокристаллического кремния, эпитаксиальные пленки кремния, а также поликристаллический кремний, алюминий и др. Сущность изобретения поясняется прилагаемыми фигурами. Фиг. 1 - блок-схема для реализации предлагаемого способа на основе атомно-силового микроскопа (АСМ). Фиг. 2 - АСМ 3 - изображение топографии поверхности монокристаллического кремния КДБ-12 (111) с локальной окисной пленкой, полученной после первого этапа сканирования...

Номер патента: 13528

Опубликовано: 30.08.2010

Авторы: Русальская Тамара Георгиевна, Баранов Игорь Ливерьевич, Звонова Ольга Сергеевна, Табулина Людмила Васильевна

МПК: H01L 21/02, C25F 3/00

Метки: травления, подложки, способ, кремниевой

Текст:

...0,5-1,14, 1,01,75 и 0,07-0,14 СВ-1017, и подключают ее к электрической цепи с плотностью протекающего через подложку анодного тока в интервале 50-75 мА/см 2. При анодной обработке в электролитических растворах, содержащих плавиковую кислоту, на поверхности кремниевой подложки протекают следующие реакции электрохимическая реакция образования бифторида кремния(1)22 е 22 химическое восстановление кремния из бифторида кремния(3) 4226...

Номер патента: 9957

Опубликовано: 30.12.2007

Авторы: Баранов Валентин Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович, Портнов Лев Яковлевич, Ануфриев Дмитрий Леонидович

МПК: C23C 14/35, C23C 14/34

Метки: полупроводниковые, пленки, нанесения, способ, молибдена, подложки

Текст:

...подложке и ухудшению стабильности ее структуры и воспроизводимости электрофизических свойств, снижению выхода годных ИСМЭ. Мощность магнетронного разряда однозначно определяет скорость нанесения пленки,а, следовательно, ее структуру и электрофизические свойства. При мощности распыления менее 0,7 кВт наблюдается увеличение растягивающих механических напряжений, что приводит к ухудшению адгезии пленок, а, следовательно, стабильности их...

Номер патента: 6329

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: ГУНН, Вальтер Х., ГЕРМАНО, Виктор В., ГУДЕ, Дональд Дж., ДОРСЕТТ, Терри Е., О`БРАЙЕН, Дебора А.

МПК: B05D 7/14, C09D 5/02, C09D 163/10...

Метки: подложки, покрытия, композиции, покрытием, подложка, упаковка, способ, получения, композиция

Текст:

...может присутствовать или отсутствовать, может содержать такие ингредиенты в следующих весовых процентах, все из расчета на основе 100 полного веса упаковки от 0 до около 15 загустителя, от около 15 до около 60 силана, от 0 до около 10(как правило, от около 2 до около 6 ) компонента борной кислоты, от 0 до около 5 ингибитора коррозии, от около 10 до около 30 смачивающего агента и остальное, например, от около 20 до около 30 , -...