Патенты с меткой «полупроводниковые»
Способ нанесения пленки молибдена на полупроводниковые подложки
Номер патента: 9957
Опубликовано: 30.12.2007
Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Портнов Лев Яковлевич, Ануфриев Дмитрий Леонидович, Баранов Валентин Владимирович
МПК: C23C 14/34, C23C 14/35
Метки: способ, пленки, полупроводниковые, нанесения, молибдена, подложки
Текст:
...подложке и ухудшению стабильности ее структуры и воспроизводимости электрофизических свойств, снижению выхода годных ИСМЭ. Мощность магнетронного разряда однозначно определяет скорость нанесения пленки,а, следовательно, ее структуру и электрофизические свойства. При мощности распыления менее 0,7 кВт наблюдается увеличение растягивающих механических напряжений, что приводит к ухудшению адгезии пленок, а, следовательно, стабильности их...