C23C 14/50 — держатели подложек
Устройство для нанесения покрытий конденсацией вещества в вакууме на плоские подложки
Номер патента: 18351
Опубликовано: 30.06.2014
Авторы: Андреев Михаил Анатольевич, Суворов Анатолий Николаевич, Саевич Леонтий Михайлович
МПК: C23C 14/50, C23C 14/00
Метки: конденсацией, плоские, устройство, вещества, вакууме, покрытий, нанесения, подложки
Текст:
...планшет для обрабатываемой подложки, удерживаемый горизонтально благодаря контакту с наклонной направляющей, а также соединенный с указанными передачами и управляемый микропроцессором системы управления шаговый двигатель, выполненный с возможностью последовательного вывода всех планшетов, общим числом более двух, из указанного зацепления посредством управляемого натяжения указанных цепей для поочередного перевода планшетов вместе с...