Баранов Игорь Ливерьевич

Номер патента: 13528

Опубликовано: 30.08.2010

Авторы: Баранов Игорь Ливерьевич, Звонова Ольга Сергеевна, Русальская Тамара Георгиевна, Табулина Людмила Васильевна

МПК: H01L 21/02, C25F 3/00

Метки: подложки, способ, травления, кремниевой

Текст:

...0,5-1,14, 1,01,75 и 0,07-0,14 СВ-1017, и подключают ее к электрической цепи с плотностью протекающего через подложку анодного тока в интервале 50-75 мА/см 2. При анодной обработке в электролитических растворах, содержащих плавиковую кислоту, на поверхности кремниевой подложки протекают следующие реакции электрохимическая реакция образования бифторида кремния(1)22 е 22 химическое восстановление кремния из бифторида кремния(3) 4226...

Номер патента: 2358

Опубликовано: 30.09.1998

Авторы: Баранов Игорь Ливерьевич, Тюлин Олег Владимирович

МПК: H01L 21/306

Метки: кремниевых, пластин, устройство, обработки, электрохимической

Текст:

...прижимаются уплотнительными кольцами 6, 6 с помощью их резьбового соединения с держателями 3, 3. Это обеспечивает надежный электрический контакт электродовкремниевых пластин 5,5 с токопроводами 4,4 и изоляцию последних от электролита 2. В электролит 2 между электродами-кремниевыми пластинами 5, 5 помещен держатель 7, изолирующий от электролита 2 и помещенных в него обрабатываемых кремниевых пластин 9, цилиндрический электрод 8. К кремниевым...