Звонова Ольга Сергеевна
Способ травления кремниевой подложки
Номер патента: 13528
Опубликовано: 30.08.2010
Авторы: Табулина Людмила Васильевна, Звонова Ольга Сергеевна, Русальская Тамара Георгиевна, Баранов Игорь Ливерьевич
МПК: H01L 21/02, C25F 3/00
Метки: кремниевой, травления, подложки, способ
Текст:
...0,5-1,14, 1,01,75 и 0,07-0,14 СВ-1017, и подключают ее к электрической цепи с плотностью протекающего через подложку анодного тока в интервале 50-75 мА/см 2. При анодной обработке в электролитических растворах, содержащих плавиковую кислоту, на поверхности кремниевой подложки протекают следующие реакции электрохимическая реакция образования бифторида кремния(1)22 е 22 химическое восстановление кремния из бифторида кремния(3) 4226...