G01Q 20/00 — Мониторинг перемещения или положения зонда
Способ сканирования образца в виде подложки с покрытием на сканирующем зондовом микроскопе
Номер патента: 16535
Опубликовано: 30.12.2012
Авторы: Худолей Андрей Леонидович, Чижик Сергей Антонович
МПК: G01Q 10/00, G01Q 20/00
Метки: способ, покрытием, образца, зондовом, сканирующем, микроскопе, виде, сканирования, подложки
Текст:
...сканером, измеряют расстояние зонд-образец для различных точек поверхности образца, а формирование изображения поверхности производят путем определения и вычитания постоянного наклона и постоянной составляющей, корректировки и фильтрации данных,полученных с помощью сканирующего зондового микроскопа. Существенным недостатком известного способа является отсутствие возможности формирования достоверного изображения поверхности образца,...
Способ сканирования поверхности объекта с помощью сканирующего зондового микроскопа
Номер патента: 16533
Опубликовано: 30.12.2012
Автор: Худолей Андрей Леонидович
МПК: G01Q 20/00, G01Q 10/00
Метки: сканирующего, поверхности, микроскопа, сканирования, объекта, зондового, помощью, способ
Текст:
...4-секционным фотоприемником как радиальный изгиб консоли, так и угол ее закручивания. Следует отметить, что наибольший угол закручивания консоли кантилевера обусловлен не трением острия зонда о поверхность материала, а механическим зацеплением острия кантилевера или самой консоли кантилевера о большую по высоте неровность рельефа поверхности объекта. Дальнейшее перемещение закрепленного конца консоли кантилевера приводит, первоначально, к...