Патенты с меткой «молибдена»

Способ нанесения пленки молибдена на полупроводниковые подложки

Загрузка...

Номер патента: 9957

Опубликовано: 30.12.2007

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Баранов Валентин Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович, Портнов Лев Яковлевич, Ануфриев Дмитрий Леонидович

МПК: C23C 14/34, C23C 14/35

Метки: молибдена, подложки, нанесения, пленки, способ, полупроводниковые

Текст:

...подложке и ухудшению стабильности ее структуры и воспроизводимости электрофизических свойств, снижению выхода годных ИСМЭ. Мощность магнетронного разряда однозначно определяет скорость нанесения пленки,а, следовательно, ее структуру и электрофизические свойства. При мощности распыления менее 0,7 кВт наблюдается увеличение растягивающих механических напряжений, что приводит к ухудшению адгезии пленок, а, следовательно, стабильности их...

Способ получения высокочистого триоксида молибдена и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 4705

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Комиссаров Феликс Давидович, Дацкевич Петр Иванович

МПК: C01G 39/02

Метки: осуществления, молибдена, получения, устройство, высокочистого, способ, триоксида

Текст:

...получить МоО 3 без примесей других соединений низших степеней окисления молибдена, а примеси в концентратах молибдена при этих условиях обработки не образуют летучих соединений с окислами азота. 3. При повышении температуры до 600-680 С происходит быстрое поверхностное испарение кристаллов МоО 3, а сопутствующие примеси из концентрата молибдена остаются внутри рабочей ячейки. С потоком окислов азота пары МоО 3 переносятся и осаждаются...