Патенты с меткой «молибдена»
Способ нанесения пленки молибдена на полупроводниковые подложки
Номер патента: 9957
Опубликовано: 30.12.2007
Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Баранов Валентин Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович, Портнов Лев Яковлевич, Ануфриев Дмитрий Леонидович
МПК: C23C 14/34, C23C 14/35
Метки: молибдена, подложки, нанесения, пленки, способ, полупроводниковые
Текст:
...подложке и ухудшению стабильности ее структуры и воспроизводимости электрофизических свойств, снижению выхода годных ИСМЭ. Мощность магнетронного разряда однозначно определяет скорость нанесения пленки,а, следовательно, ее структуру и электрофизические свойства. При мощности распыления менее 0,7 кВт наблюдается увеличение растягивающих механических напряжений, что приводит к ухудшению адгезии пленок, а, следовательно, стабильности их...
Способ получения высокочистого триоксида молибдена и устройство для его осуществления
Номер патента: 4705
Опубликовано: 30.09.2002
Авторы: Комиссаров Феликс Давидович, Дацкевич Петр Иванович
МПК: C01G 39/02
Метки: осуществления, молибдена, получения, устройство, высокочистого, способ, триоксида
Текст:
...получить МоО 3 без примесей других соединений низших степеней окисления молибдена, а примеси в концентратах молибдена при этих условиях обработки не образуют летучих соединений с окислами азота. 3. При повышении температуры до 600-680 С происходит быстрое поверхностное испарение кристаллов МоО 3, а сопутствующие примеси из концентрата молибдена остаются внутри рабочей ячейки. С потоком окислов азота пары МоО 3 переносятся и осаждаются...