Патенты с меткой «окисной»
Способ создания окисной пленки на поверхности полупроводниковой либо металлической подложки
Номер патента: 14296
Опубликовано: 30.04.2011
Авторы: Витязь Петр Александрович, Петлицкая Татьяна Владимировна, Жорник Виктор Иванович, Ковалева Светлана Анатольевна, Пилипенко Владимир Александрович
МПК: B82B 3/00, C25D 11/02
Метки: металлической, подложки, окисной, способ, пленки, поверхности, полупроводниковой, создания, либо
Текст:
...например монокристаллического кремния, эпитаксиальные пленки кремния, а также поликристаллический кремний, алюминий и др. Сущность изобретения поясняется прилагаемыми фигурами. Фиг. 1 - блок-схема для реализации предлагаемого способа на основе атомно-силового микроскопа (АСМ). Фиг. 2 - АСМ 3 - изображение топографии поверхности монокристаллического кремния КДБ-12 (111) с локальной окисной пленкой, полученной после первого этапа сканирования...