G01Q 10/00 — Устройства сканирования или позиционирования, т.е. устройства для активного управления движением или положением зонда
Способ сканирования образца в виде подложки с покрытием на сканирующем зондовом микроскопе
Номер патента: 16535
Опубликовано: 30.12.2012
Авторы: Чижик Сергей Антонович, Худолей Андрей Леонидович
МПК: G01Q 20/00, G01Q 10/00
Метки: подложки, виде, сканирующем, микроскопе, покрытием, зондовом, сканирования, образца, способ
Текст:
...сканером, измеряют расстояние зонд-образец для различных точек поверхности образца, а формирование изображения поверхности производят путем определения и вычитания постоянного наклона и постоянной составляющей, корректировки и фильтрации данных,полученных с помощью сканирующего зондового микроскопа. Существенным недостатком известного способа является отсутствие возможности формирования достоверного изображения поверхности образца,...
Способ сканирования поверхности объекта с помощью сканирующего зондового микроскопа
Номер патента: 16533
Опубликовано: 30.12.2012
Автор: Худолей Андрей Леонидович
МПК: G01Q 10/00, G01Q 20/00
Метки: микроскопа, помощью, зондового, объекта, сканирующего, способ, поверхности, сканирования
Текст:
...4-секционным фотоприемником как радиальный изгиб консоли, так и угол ее закручивания. Следует отметить, что наибольший угол закручивания консоли кантилевера обусловлен не трением острия зонда о поверхность материала, а механическим зацеплением острия кантилевера или самой консоли кантилевера о большую по высоте неровность рельефа поверхности объекта. Дальнейшее перемещение закрепленного конца консоли кантилевера приводит, первоначально, к...
Сканирующий зондовый микроскоп с системой автоматического слежения за кантилевером
Номер патента: 14816
Опубликовано: 30.10.2011
Автор: Худолей Андрей Леонидович
МПК: G01Q 10/00
Метки: микроскоп, зондовый, сканирующий, автоматического, слежения, системой, кантилевером
Текст:
...с отражающей поверхностью может механически зацепиться за неровность и/или упереться в нее. В этом случае важно предотвратить дальнейшее перемещение сканером консоли кантилевера с отражающей поверхностью, в противном случае произойдет поломка острия и/или консоли кантилевера с отражающей поверхностью. Задачей предлагаемого изобретения является повышение надежности работы сканирующего зондового микроскопа. Задача решается следующим...