Патенты с меткой «сканирующем»

Способ сканирования образца в виде подложки с покрытием на сканирующем зондовом микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 16535

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Чижик Сергей Антонович, Худолей Андрей Леонидович

МПК: G01Q 10/00, G01Q 20/00

Метки: виде, образца, покрытием, подложки, способ, сканирования, сканирующем, микроскопе, зондовом

Текст:

...сканером, измеряют расстояние зонд-образец для различных точек поверхности образца, а формирование изображения поверхности производят путем определения и вычитания постоянного наклона и постоянной составляющей, корректировки и фильтрации данных,полученных с помощью сканирующего зондового микроскопа. Существенным недостатком известного способа является отсутствие возможности формирования достоверного изображения поверхности образца,...