Турцевич Аркадий Степанович
Способ осаждения пленки фосфоросиликатного стекла
Номер патента: 2883
Опубликовано: 30.06.1999
Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Макаревич Игорь Иванович, Наливайко Олег Юрьевич, Сосновский Владимир Арестархович
МПК: H01L 21/316
Метки: способ, фосфоросиликатного, стекла, осаждения, пленки
Текст:
...существенно снижается концентрация соединений фосфора на выхлопе реактора, что позволяет использовать скруббер без дожигания. В выбранном диапазоне температуры испарителя давление паров диметилфосфита составляет 1.812 мм рт. ст. При температуре испарителя ниже 20 С усложняется управление процессом по концентрации фосфора и не обеспечивается необходимая концентрация фосфора в пленке из-за резкого снижения парциального давления паров ДМФ....
Накопительный конденсатор элемента памяти интегральных схем
Номер патента: 2639
Опубликовано: 30.03.1999
Авторы: Довнар Николай Александрович, Красницкий Василий Яковлевич, Цыбулько Игорь Александрович, Смаль Игорь Вацлавович, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: H01L 27/10, H01L 29/92
Метки: интегральных, памяти, накопительный, конденсатор, схем, элемента
Текст:
...3, разделительную область 4 из диэлектрического материала повторяющую рельеф первой обкладки, вторую обкладку 5 из легированного поликремния, нижняя поверхность которой повторяет рельеф первой. Работа накопительного конденсатора идентична работе типового однотранзисторного элемента памяти динамического запоминающего устройства. В техническом решении по изобретению получается канавка с несколькими проводящими перегородками, что позволяет не...
Способ осаждения пленок фосфоросиликатного стекла
Номер патента: 2531
Опубликовано: 30.12.1998
Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Тихонов Владимир Ильич, Красницкий Василий Яковлевич
МПК: H01L 21/316
Метки: способ, стекла, осаждения, пленок, фосфоросиликатного
Текст:
...определяется именно этим соотношением. Поэтому контроль за содержанием фосфора в пленке предельно облегчается. Кроме того, так как не используется фосфин, то и уровень привносимой дефектности снижается и повышается однородность осаждаемых пленок по толщине, а также реализуется процесс осаждения фосфоросиликатного стекла без использования высокотоксичного фосфина. Дополнительным преимуществом является некоторое сокращение площади, занимаемой...
Способ осаждения пленки борофосфоросиликатного стекла
Номер патента: 2502
Опубликовано: 30.12.1998
Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Захарик Сергей Владимирович, Аношин Валерий Михайлович, Красницкий Василий Яковлевич, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: H01L 21/316
Метки: стекла, способ, пленки, осаждения, борофосфоросиликатного
Текст:
...содержанием фосфора и бора в пленке предельно упрощается. Подача ДМФ и ТСМБ по дополнительной паре инжекторов с газом-носителем - азотом непосредственно в зону реакции позволяет подавить возможные реакции с образованием побочных продуктов, что подтвер 2 2502 1 ждается результатами эксперимента и, следовательно, повысить качество осаждаемых пленок БФСС за счет снижения уровня привносимой дефектности. При подаче ТМФ и ТСМБ по той же паре...
Способ получения пленок фосфоросиликатного стекла
Номер патента: 1612
Опубликовано: 30.03.1997
Авторы: Сасновский Владимир Арестархович, Тихонов Владимир Ильич, Макаревич Игорь Иванович, Буляк Борис Николаевич, Турцевич Аркадий Степанович, Кабаков Михаил Михайлович, Наливайко Олег Юрьевич
МПК: H01L 21/316
Метки: получения, фосфоросиликатного, пленок, стекла, способ
Текст:
...легирования пленки фосфором по пластине и по загрузке и предотвращает образование в газовой фазе не только частиц 2, но и Н 2 О 4, Р 25, Р 23, что обеспечивает преимущественное образование Р 25 уже непосредственно на подложке без осаждения на нее частиц Р 25, Р 23 из газовой фазы, приводящего к локальным неоднородностям легирования пленки фосфором. Выбор отношения объемных потоков 3/4 и объемного потока аммиака сделан на основе...
Способ осаждения пленки борофосфоросиликатного стекла
Номер патента: 1613
Опубликовано: 30.03.1997
Авторы: Макаревич Игорь Иванович, Кабаков Михаил Михайлович, Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Корешков Геннадий Анатольевич
МПК: H01L 21/316
Метки: стекла, способ, пленки, борофосфоросиликатного, осаждения
Текст:
...издержки производства. 1613 1 При температуре испарителя с ТЭОС выше 75 С повышаются расход ТЭОС и неоднородность толщины пленок. При температуре реактора ниже 650 С снижается скорость осаждения и повышаются издержки производства, а также ухудшается конформность воспроизведения топологического рельефа. При температуре реактора выше 750 С ухудшается управляемость процесса по толщине и концентрациям фосфора и бора. При температуре испарителя с...