Цыбулько Игорь Александрович
Накопительный конденсатор элемента памяти интегральных схем
Номер патента: 2639
Опубликовано: 30.03.1999
Авторы: Цыбулько Игорь Александрович, Довнар Николай Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Смаль Игорь Вацлавович, Красницкий Василий Яковлевич
МПК: H01L 29/92, H01L 27/10
Метки: памяти, схем, элемента, накопительный, интегральных, конденсатор
Текст:
...3, разделительную область 4 из диэлектрического материала повторяющую рельеф первой обкладки, вторую обкладку 5 из легированного поликремния, нижняя поверхность которой повторяет рельеф первой. Работа накопительного конденсатора идентична работе типового однотранзисторного элемента памяти динамического запоминающего устройства. В техническом решении по изобретению получается канавка с несколькими проводящими перегородками, что позволяет не...